旋转弹用MEMS陀螺结构优化及性能测试
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第9页 |
| ·关键技术研究现状 | 第9-16页 |
| ·微机械陀螺的研究现状 | 第10-13页 |
| ·微小电容检测的研究现状 | 第13-16页 |
| ·本文主要研究内容及章节安排 | 第16-17页 |
| 第二章 旋转弹用MEMS陀螺的基本工作原理 | 第17-23页 |
| ·哥氏效应 | 第17-18页 |
| ·旋转弹用MEMS陀螺概述 | 第18-19页 |
| ·微机械陀螺的输出特性分析 | 第19-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 旋转弹用MEMS陀螺的结构优化设计 | 第23-41页 |
| ·陀螺优化的必要性及结构选型 | 第23页 |
| ·陀螺相关力学参数分析 | 第23-28页 |
| ·陀螺的结构设计 | 第28-34页 |
| ·陀螺结构的仿真分析 | 第34-38页 |
| ·模态分析 | 第35-36页 |
| ·静力学分析 | 第36-37页 |
| ·谐波分析 | 第37-38页 |
| ·优化后陀螺电学特性分析 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 旋转弹用MEMS陀螺的工艺与版图设计 | 第41-49页 |
| ·陀螺加工关键工艺 | 第41-43页 |
| ·陀螺工艺设计 | 第43-45页 |
| ·陀螺版图设计 | 第45-48页 |
| ·版图设计规则 | 第45-46页 |
| ·陀螺版图制作 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 旋转弹用MEMS陀螺的信号检测及性能测试 | 第49-64页 |
| ·陀螺接口电路 | 第49-50页 |
| ·陀螺信号检测电路的优化及验证 | 第50-54页 |
| ·调节基底电容 | 第50-52页 |
| ·二级放大 | 第52-54页 |
| ·陀螺性能测试 | 第54-62页 |
| ·抗过载能力分析 | 第54页 |
| ·陀螺性能测试平台介绍 | 第54-55页 |
| ·陀螺静态指标测试 | 第55-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 结论与展望 | 第64-66页 |
| ·全文总结 | 第64页 |
| ·工作展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及取得的成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
