基于PZT的微纳混合扫描系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·本文研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·基于PZT的AFM扫描系统 | 第9-10页 |
| ·AFM扫描控制系统研究现状 | 第10-11页 |
| ·迟滞模型研究现状 | 第11-12页 |
| ·微纳混合扫描系统中存在的问题 | 第12-13页 |
| ·论文的研究内容 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第2章 微纳扫描系统组成及原理 | 第15-20页 |
| ·微纳扫描系统的组成 | 第15-16页 |
| ·原子力显微镜的基本原理 | 第16-18页 |
| ·原子力显微镜的工作原理 | 第16页 |
| ·原子力显微镜的工作模式 | 第16-17页 |
| ·微悬臂形变量的检测方法 | 第17-18页 |
| ·PZT扫描系统控制方法 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 AFM扫描控制系统设计及实现 | 第20-30页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·系统总体设计 | 第20-29页 |
| ·扫描方式的选择 | 第21-23页 |
| ·控制机制及实现方法 | 第23-24页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第24-27页 |
| ·控制系统软件设计 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 系统调试及结果分析 | 第30-44页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·系统调试 | 第30-34页 |
| ·D/A调试 | 第30-32页 |
| ·压电陶瓷控制平台调试 | 第32-34页 |
| ·AFM系统测试 | 第34-42页 |
| ·AFM系统工作过程 | 第34-35页 |
| ·扫描结果及分析 | 第35-42页 |
| ·智能避障 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 压电陶瓷扫描平台迟滞模型的研究 | 第44-52页 |
| ·压电陶瓷扫描平台 | 第44-45页 |
| ·压电陶瓷迟滞特特性及对AFM系统的影响 | 第45-47页 |
| ·压电陶瓷材料迟滞特性 | 第45页 |
| ·迟滞特性对AFM系统的影响 | 第45-47页 |
| ·压电陶瓷扫描平台迟滞模型 | 第47-50页 |
| ·Bouc-Wen模型分析 | 第47-48页 |
| ·Bouc-Wen模型的参数辨识 | 第48-50页 |
| ·实验结果与分析 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第6章 总结与展望 | 第52-54页 |
| ·全文总结 | 第52-53页 |
| ·应用前景及展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 发表文章 | 第57页 |
