| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| ·薄膜杨氏模量测量的意义 | 第9-10页 |
| ·薄膜杨氏模量测量主要技术发展现状及对比 | 第10-18页 |
| ·激光声表面波法的研究现状 | 第18-21页 |
| ·课题的选题意义及研究内容 | 第21-25页 |
| 第二章 声表面波传播色散曲线理论算法研究 | 第25-57页 |
| ·波动方程及弹性刚度常数 | 第25-27页 |
| ·波动方程 | 第25-26页 |
| ·晶体弹性刚度常数的转轴公式 | 第26-27页 |
| ·弹性刚度常数与工程材料常数的关系 | 第27页 |
| ·固体弹性波的有限时域差分法 | 第27-42页 |
| ·FDTD：电磁场与弹性超声场的对偶关系 | 第28-29页 |
| ·弹性波的有限时域差分法计算原理及流程 | 第29-30页 |
| ·弹性波的有限时域差分法算法设计 | 第30-34页 |
| ·算法收敛性验证 | 第34-36页 |
| ·对称边界-空间变步长算法 | 第36-41页 |
| ·声表面波色散曲线计算方法 | 第41-42页 |
| ·薄膜参数对声表面波传播特性的影响 | 第42-49页 |
| ·各向同性薄膜/衬底计算模型 | 第42-43页 |
| ·各向同性薄膜参数对传播特性的影响 | 第43-49页 |
| ·周期性多孔Low-k 介质薄膜参数对声表面波传播特性的影响 | 第49-55页 |
| ·周期性多孔low-k 介质薄膜的计算模型 | 第49-50页 |
| ·周期性多孔low-k 介质薄膜参数对传播特性的影响 | 第50-55页 |
| ·小结：FDTD 算法的优势及存在的问题 | 第55-57页 |
| 第三章 声表面波检测系统研究 | 第57-81页 |
| ·系统拟解决的问题 | 第57-59页 |
| ·差分共焦光偏转敏感系统的检测原理分析 | 第59-62页 |
| ·差分共焦光偏转敏感声表面波检测系统设计 | 第62-68页 |
| ·系统架构 | 第62-64页 |
| ·系统关键技术 | 第64-68页 |
| ·系统噪声分析 | 第68-69页 |
| ·系统实验色散曲线计算方法 | 第69-70页 |
| ·对比测试的压电声表面波检测系统设计及改进 | 第70-81页 |
| ·构建对比测试系统的研究意义 | 第70-71页 |
| ·PVDF 压电声表面波检测原理 | 第71-72页 |
| ·PVDF 压电声表面波检测系统设计 | 第72-76页 |
| ·四象限压电平头声表面波探测技术 | 第76-81页 |
| 第四章 测量结果计算方法研究 | 第81-91页 |
| ·色散曲线的最小二乘法拟合 | 第81-83页 |
| ·基于自相关的曲线匹配优度判据 | 第83-85页 |
| ·自相关-二分回溯逼近测量结果智能算法 | 第85-87页 |
| ·测量结果自动获取过程 | 第87-91页 |
| 第五章 实验与分析 | 第91-115页 |
| ·概述 | 第91页 |
| ·差分共焦光偏转敏感声表面波检测系统可重复性分析 | 第91-95页 |
| ·差分共焦光偏转敏感声表面波检测系统与纳米压痕仪的对比测试 | 第95-102页 |
| ·薄膜杨氏模量大于衬底的情况 | 第95-99页 |
| ·薄膜杨氏模量小于衬底的情况 | 第99-102页 |
| ·对比测试结论 | 第102页 |
| ·差分共焦光偏转敏感检测系统与压电检测系统对硬膜的对比测试 | 第102-108页 |
| ·四象限压电平头声表面波探测技术的传播方向定位性能测试 | 第103-105页 |
| ·差分共焦光偏转敏感检测系统、压电检测系统对比测试 | 第105-108页 |
| ·差分共焦光偏转敏感检测系统与压电检测系统对low-k 介质薄膜的对比测试 | 第108-113页 |
| ·结论 | 第113-115页 |
| 第六章 结论与展望 | 第115-119页 |
| ·论文完成的主要工作 | 第115-116页 |
| ·论文的创新点 | 第116-117页 |
| ·工作展望 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-131页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第131-133页 |
| 致谢 | 第133-135页 |
| 附录一、晶体中弹性刚度常数张量的转轴公式推导 | 第135-141页 |
| 附录二、二维弹性波动方程的有限时域差分法离散过程推导 | 第141-145页 |
| 附录三、二维弹性波Mur 一阶吸收边界条件推导 | 第145-149页 |
