纳米三坐标测量机三维大量程接触扫描探头系统的研制
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 致谢 | 第10-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-35页 |
| ·研究相关文献回顾 | 第20-33页 |
| ·研究目的及意义 | 第33页 |
| ·研究课题来源 | 第33-34页 |
| ·论文主要内容 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第二章 接触扫描探头的感测原理及系统设计 | 第35-57页 |
| ·探头的感测原理 | 第35-43页 |
| ·探头的结构设计 | 第43-46页 |
| ·探头的信号处理电路设计 | 第46-52页 |
| ·数据采集与信号处理 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第三章 接触扫描探头弹性机构的分析与优化设计 | 第57-79页 |
| ·弹性机构设计有关的几个基本问题 | 第57-60页 |
| ·基于簧线的弹性机构分析与优化设计 | 第60-66页 |
| ·基于Z字形簧片的弹性机构分析与优化设计 | 第66-72页 |
| ·基于V字形簧片的弹性机构分析与优化设计 | 第72-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第四章 接触扫描探头的性能测试 | 第79-96页 |
| ·测力(刚度)测试 | 第79-83页 |
| ·探头分辨力测试 | 第83-84页 |
| ·稳定性测试 | 第84-90页 |
| ·量程和重复性测试 | 第90-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 第五章 接触扫描探头的校正、应用及误差分析 | 第96-121页 |
| ·探头的校正 | 第96-112页 |
| ·探头的应用 | 第112-116页 |
| ·探头误差分析与修正 | 第116-120页 |
| ·本章小结 | 第120-121页 |
| 第六章 总结与展望 | 第121-124页 |
| ·主要工作及成果总结 | 第121-122页 |
| ·研究工作展望 | 第122-124页 |
| 参考文献 | 第124-129页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第129-130页 |
