一种基于液面基准的大平面平面度测量方法的研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-9页
第一章 绪论	第9-25页
·国内外现状	第9-10页
·大平面平面度测量方法	第10-17页
·液面法	第10-14页
·多测头误差分离法	第14页
·光轴法	第14-16页
·水平仪、自准直仪法	第16-17页
·平面度误差的评定方法	第17-25页
·最小条件判别原则	第18页
·评定原理及方法	第18-25页
第二章 平面度测量系统测量系统	第25-41页
·测量系统的工作原理	第25-27页
·测量系统的组成	第27-41页
·花岗岩平台及花岗岩框架	第28-29页
·激光回馈干涉仪	第29-34页
·二维运动进给系统	第34-35页
·数据处理方法及程序	第35-41页
第三章 仿真分析	第41-49页
·前后两次落点不重合	第41-46页
·温升引入误差的有限元分析	第46-49页
·环境温升引入误差的有限元分析	第46-47页
·容器及液体热胀引起测量误差	第47-49页
第四章 实验与分析	第49-58页
·不同粘度液体单点测量实验	第49-52页
·实验装置及方法	第49-50页
·实验数据分析	第50-52页
·液体抗冲击性实验	第52-54页
·瞬时冲击的影响	第52页
·连续振动冲击的影响	第52-53页
·气浮垫升降冲击的影响	第53-54页
·温度影响测量实验	第54-57页
·隔温间(塑料棚)的重要性	第54-56页
·容器支承座的对比实验	第56-57页
·液面挥发的影响	第57-58页
第五章 总结	第58-60页
·全文总结	第58-59页
·今后展望	第59-60页
参考文献	第60-62页
攻读硕士学位期间发表的学术论文	第62-63页
致谢	第63页