近红外波段金属线栅偏振器的设计与制作
| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·光偏振技术应用 | 第10-12页 |
| ·偏振器件 | 第12-16页 |
| ·研究背景与国内外研究现状 | 第16-20页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 金属线栅理论分析 | 第21-33页 |
| ·时域有限差分法 | 第21-27页 |
| ·近红外波段金属线栅的材料选择 | 第27-29页 |
| ·矩形金属线栅的理论模拟 | 第29-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第三章 驻波分析及 Al-Cu 双层线栅设计 | 第33-50页 |
| ·全息光刻中的驻波效应 | 第33-38页 |
| ·减弱驻波效应的方法 | 第35-38页 |
| ·Al-Cu 双层线栅的设计 | 第38-48页 |
| ·线栅形貌对偏振性能的影响 | 第39-41页 |
| ·梯形双层线栅线高的优化 | 第41-45页 |
| ·梯形双层线栅占空比的优化 | 第45-46页 |
| ·梯形双层线栅侧壁倾角的优化 | 第46-47页 |
| ·梯形双层线栅周期的影响 | 第47-48页 |
| ·双层金属线栅的角度敏感性分析 | 第48-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 第四章 金属线栅偏振器制作 | 第50-59页 |
| ·引言 | 第50-52页 |
| ·全息-离子束刻蚀工艺 | 第52-54页 |
| ·离子束刻蚀技术介绍 | 第54-55页 |
| ·金属线栅的制作 | 第55-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第五章 测试与分析 | 第59-68页 |
| ·傅里叶变换红外光谱仪 | 第59-60页 |
| ·测试与数据处理 | 第60-65页 |
| ·入射光角度敏感性测试 | 第65-66页 |
| ·小结 | 第66-68页 |
| 第六章 总结 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文及参加的学术会议 | 第75-76页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第75页 |
| 硕士期间参加的学术会议 | 第75页 |
| 攻读学位期间参加的项目 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
