| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·光子器件的发展及应用 | 第9-13页 |
| ·光子器件的发展过程 | 第9-10页 |
| ·光子晶体特点与应用 | 第10-11页 |
| ·表面等离子体激元器件特点与应用 | 第11-13页 |
| ·双光子光聚合法在微纳光子器件制备中的应用 | 第13-19页 |
| ·飞秒激光双光子光聚合原理 | 第13-15页 |
| ·双光子光聚合法在光子晶体制备中的应用 | 第15-17页 |
| ·双光子光聚合法在表面等离子体激元器件制备中的应用 | 第17-19页 |
| ·本课题研究的目的和内容 | 第19-21页 |
| ·本课题研究的目的 | 第19页 |
| ·本课题研究的内容 | 第19-21页 |
| 第二章 三维微纳器件制备工艺研究 | 第21-40页 |
| ·基于“单次、慢扫”的传统“亚微米”光聚合加工研究 | 第21-28页 |
| ·飞秒激光双光子光聚合微纳加工实验系统与方法 | 第21-25页 |
| ·飞秒激光双光子光聚合理论模型及加工分辨率公式 | 第25页 |
| ·单次慢扫下线宽研究 | 第25-28页 |
| ·基于“多次、快扫”的新型“纳尺度”光聚合加工研究 | 第28-35页 |
| ·自由基浓度起伏理论 | 第29-30页 |
| ·飞秒光镊集聚效应理论 | 第30-33页 |
| ·多次快扫下线宽研究 | 第33-35页 |
| ·三维微纳器件制备研究 | 第35-39页 |
| ·微机械器件制备 | 第35页 |
| ·微光学器件制备 | 第35-36页 |
| ·微纳生物器件制备 | 第36-37页 |
| ·微纳模板制备 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 光子晶体及表面等离子体激元器件理论设计与模拟 | 第40-50页 |
| ·时域有限差分法基本原理 | 第40-43页 |
| ·三维光子晶体计算模拟 | 第43-47页 |
| ·表面等离子体激元器件计算模拟 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 三维光子晶体制备工艺及应用研究 | 第50-59页 |
| ·三维光子晶体制备工艺研究 | 第50-56页 |
| ·木堆结构三维光子晶体工艺研究 | 第50-54页 |
| ·不同结构三维光子晶体制备及应用研究 | 第54-56页 |
| ·变频三维光子晶体初步研究 | 第56-58页 |
| ·变频三维光子晶体概念及分类 | 第56-57页 |
| ·变频三维光子晶体制备研究 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 表面等离子体激元器件制备工艺及应用研究 | 第59-69页 |
| ·表面等离子体激元器件制备 | 第59-60页 |
| ·表面等离子体激元实验装置 | 第60-62页 |
| ·不同表面等离子体激元激发与观察 | 第62-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·总结 | 第69-70页 |
| ·展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 硕士期间参与的科研项目 | 第77-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文、专利及奖励 | 第78页 |
