| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-38页 |
| ·类金刚石薄膜的结构 | 第11-13页 |
| ·含fullerene-like微结构碳膜 | 第13-18页 |
| ·氮的角色 | 第15-16页 |
| ·结构进化机理 | 第16-18页 |
| ·类金刚石和含fullerene-like微结构碳膜的制备及其表征 | 第18-29页 |
| ·类金刚石和含fullerene-like微结构碳膜的制备 | 第18-24页 |
| ·类金刚石和含fullerene-like微结构碳膜的表征 | 第24-29页 |
| ·类金刚石和含fullerene-like微结构碳膜的应用 | 第29-31页 |
| ·论文的选题依据和研究内容 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-38页 |
| 第二章 含fullerene-like微结构碳膜的等离子体CVD法制备及其结构调控 | 第38-74页 |
| ·含Fullerene微结构碳膜的等离子体CVD法制备 | 第38-45页 |
| ·引言 | 第38-39页 |
| ·样品制备及表征 | 第39-40页 |
| ·结果与讨论 | 第40-45页 |
| ·结论 | 第45页 |
| ·含fullerene-like微结构氢化碳膜的结构热稳定性和机械性能 | 第45-53页 |
| ·引言 | 第45-46页 |
| ·样品制备与表征 | 第46-47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-53页 |
| ·结论 | 第53页 |
| ·氢化碳膜中fullerene-like微结构的演化及其性质 | 第53-63页 |
| ·引言 | 第53-54页 |
| ·样品制备与表征 | 第54页 |
| ·结果与讨论 | 第54-63页 |
| ·结论 | 第63页 |
| ·氢对非晶碳膜中形成fullerene-like微结构的作用 | 第63-69页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·样品制备与表征 | 第63-64页 |
| ·结果与讨论 | 第64-68页 |
| ·结论 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 第三章 直流脉冲等离子体CVD制备的碳薄膜中应力与结构的关系 | 第74-98页 |
| ·氢化碳膜中五元碳环和七元碳环含量对应力的影响 | 第74-79页 |
| ·引言 | 第74-75页 |
| ·实验 | 第75页 |
| ·结果与讨论 | 第75-79页 |
| ·结论 | 第79页 |
| ·氢化碳膜的应力释放花纹 | 第79-86页 |
| ·引言 | 第79-80页 |
| ·实验 | 第80-81页 |
| ·结果与讨论 | 第81-86页 |
| ·结论 | 第86页 |
| ·用直流脉冲等离子体CVD制备的碳氮薄膜的应力抑制 | 第86-93页 |
| ·引言 | 第86-87页 |
| ·实验 | 第87页 |
| ·结果与讨论 | 第87-93页 |
| ·结论 | 第93页 |
| ·本章小结 | 第93页 |
| 参考文献 | 第93-98页 |
| 第四章 含fullerene-like微结构氢化碳膜的沉积机理 | 第98-108页 |
| ·成膜阶段fullerene-like微结构的形成机理 | 第98-104页 |
| ·实验 | 第98-99页 |
| ·结果与讨论 | 第99-103页 |
| ·总结 | 第103-104页 |
| ·薄膜生长阶段fullerene-like微结构的形成机理 | 第104-107页 |
| ·引言 | 第104页 |
| ·模型构造与计算 | 第104-107页 |
| ·结论 | 第107页 |
| ·本章小结 | 第107页 |
| 参考文献 | 第107-108页 |
| 第五章 总结与展望 | 第108-110页 |
| ·总结 | 第108-109页 |
| ·研究展望 | 第109-110页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第110-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 作者简介 | 第113页 |
