| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-11页 |
| §1.1 课题研究背景 | 第8-9页 |
| §1.2 光学干涉测试技术 | 第9-10页 |
| §1.3 本论文的主要工作 | 第10-11页 |
| 第二章 干涉条纹图的处理技术 | 第11-20页 |
| §2.1 静态干涉条纹图的相移处理方法 | 第12-16页 |
| §2.1.1 时间相移干涉原理 | 第12-15页 |
| §2.1.2 相移实现方法 | 第15-16页 |
| §2.2 动态干涉条纹图的Fourier变换处理方法 | 第16-18页 |
| §2.2.1 Fourier变换法 | 第16-18页 |
| §2.2.2 几种相位测量方法的比较 | 第18页 |
| §2.3 相位展开和高度转换 | 第18-20页 |
| 第三章 基于显微干涉的物体表面三维形貌测试 | 第20-34页 |
| §3.1 干涉显微镜 | 第20-22页 |
| §3.2 光纤连接器端面参数 | 第22-24页 |
| §3.3 测试系统 | 第24-28页 |
| §3.3.1 显微干涉系统 | 第25-26页 |
| §3.3.2 相移控制系统 | 第26-27页 |
| §3.3.3 图像处理系统 | 第27-28页 |
| §3.4 数值模拟 | 第28-30页 |
| §3.5 测试结果 | 第30-33页 |
| §3.5.1 表面形貌和光纤高度的测量 | 第30-32页 |
| §3.5.2 端面曲率半径和顶点偏移的测量 | 第32-33页 |
| §3.6 误差分析 | 第33-34页 |
| 第四章 基于CMOS干涉成像的三维物体动态测试系统 | 第34-52页 |
| §4.1 测试光路 | 第34-35页 |
| §4.2 图像采集系统 | 第35-42页 |
| §4.2.1 CMOS图像传感器的发展 | 第35页 |
| §4.2.2 CMOS图像传感器的结构 | 第35-36页 |
| §4.2.3 CMOS与CCD性能的比较 | 第36-38页 |
| §4.2.4 本系统器件的选择 | 第38-42页 |
| §4.3 测量原理 | 第42-45页 |
| §4.3.1 希尔伯特变换条纹分析法 | 第42-44页 |
| §4.3.2 三维相位解包裹 | 第44-45页 |
| §4.4 数值模拟 | 第45-46页 |
| §4.5 测试结果 | 第46-52页 |
| 第五章 结论 | 第52-53页 |
| 附录 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 硕士期间发表论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |