| 论文摘要(中、英文) | 第1-9页 |
| 第一章 绪言 | 第9-19页 |
| ·氧化锌(ZnO)研究历史回顾 | 第9-10页 |
| ·氧化锌的性质和用途 | 第10-13页 |
| ·当前氧化锌材料研究面临的问题 | 第13-14页 |
| ·本论文研究工作简介 | 第14-16页 |
| 参考文献 | 第16-19页 |
| 第二章 多晶ZnO薄膜的实验室制备研究 | 第19-36页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第19-27页 |
| ·ZnO 薄膜制备方法比较 | 第27-29页 |
| ·本研究薄膜制备设备概况 | 第29-31页 |
| ·多晶ZnO 薄膜的制备条件 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 参考文献 | 第33-36页 |
| 第三章 多晶ZnO薄膜的结构特性研究 | 第36-71页 |
| ·ZnO 晶体结构和缺陷 | 第36-41页 |
| ·薄膜生长基础理论 | 第41-44页 |
| ·测试分析方法介绍 | 第44-50页 |
| ·沉积条件对多晶ZnO 薄膜结构的影响 | 第50-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 第四章 多晶ZnO薄膜的电学特性研究 | 第71-101页 |
| ·多晶ZnO 薄膜中的电学缺陷 | 第71-76页 |
| ·多晶半导体材料的导电机制 | 第76-82页 |
| ·多晶ZnO 薄膜电学特性的测量方法与设备 | 第82-87页 |
| ·多晶ZnO 薄膜电学特性测试结果分析 | 第87-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-101页 |
| 第五章 多晶ZnO薄膜的光学特性研究 | 第101-123页 |
| ·基本理论 | 第101-108页 |
| ·薄膜折射率测试原理与仪器 | 第108-111页 |
| ·多晶ZnO 薄膜折射率和可见光波段透过率谱的分析 | 第111-117页 |
| ·透明导电薄膜材料比较 | 第117-119页 |
| ·本章小结 | 第119-120页 |
| 参考文献 | 第120-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 附录 | 第124-125页 |