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微波等离子体 CVD纳米金刚石场致电子发射研究

第一章 绪论第1-32页
   ·引言第8-10页
   ·金刚石的结构、性质和应用第10-13页
   ·真空微电子学和场发射显示器的发展现状第13-17页
   ·金刚石在场发射显示器(FED)中的应用第17-21页
   ·多孔硅的制备方法、性质及应用第21-26页
   ·本论文的研究工作第26-29页
 参考文献第29-32页
第二章 多孔硅衬底CVD 金刚石薄膜的生长第32-59页
   ·引言第32-33页
   ·CVD 金刚石薄膜的生长第33-43页
   ·CVD 金刚石薄膜的常用鉴定手段第43-44页
   ·多孔硅衬底CVD 金刚石薄膜的制备第44-45页
   ·样品的扫描电子显微镜照片( SEM 图)分析第45-49页
 参考文献第49-59页
第三章 CVD 金刚石薄膜的场致电子发射机制第59-76页
   ·引言第59-60页
   ·电子发射类型第60-61页
   ·场致电子发射方程——Fowler-Nordheim 公式第61-62页
   ·CVD 金刚石薄膜场发射性能第62-64页
   ·金刚石薄膜的各种场发射模型第64-69页
   ·影响CVD 金刚石薄膜场致发射的主要因素第69-72页
   ·本章小结第72-73页
 参考文献第73-76页
第四章 纳米晶CVD 金刚石薄膜的场致电子发射第76-93页
   ·引言第76-77页
   ·纳米金刚石薄膜的制备第77-81页
   ·纳米金刚石薄膜的场电子发射第81-90页
 参考文献第90-93页
第五章不连续CVD 金刚石薄膜的场致电子发射第93-103页
   ·引言第93-95页
   ·薄膜制备和结构分析第95-99页
   ·场发射测试结果及分析第99-101页
 参考文献第101-103页
第六章总结第103-105页
致谢第105页

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