纳米梁结构制备工艺、检测方法和应用研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·纳米梁结构介绍 | 第8-9页 |
| ·纳米梁加工方式介绍 | 第9-13页 |
| ·纳米梁力学性质介绍 | 第13-14页 |
| ·纳米梁的电学性质介绍 | 第14页 |
| ·纳米梁应用进展和良好前景 | 第14页 |
| ·本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 本章参考文献 | 第15-17页 |
| 第二章 纳米梁加工方法研究 | 第17-29页 |
| ·TMAH 腐蚀硅加工方法 | 第17-21页 |
| ·键合深刻蚀释放标准工艺方法 | 第21-23页 |
| ·侧墙法 | 第23-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 本章参考文献 | 第28-29页 |
| 第三章 纳米梁力学性质测试 | 第29-37页 |
| ·纳米压痕仪法 | 第29-30页 |
| ·吸合电压法 | 第30-34页 |
| ·多普勒效应仪测试法 | 第34-35页 |
| ·电磁驱动法 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36页 |
| 本章参考文献 | 第36-37页 |
| 第四章 纳米梁力学性质模型研究 | 第37-50页 |
| ·纳米梁力学性质与传统模型矛盾 | 第37-38页 |
| ·纳米梁杨氏模量微观分析 | 第38-41页 |
| ·一种新纳米梁力学模型介绍 | 第41-45页 |
| ·新纳米梁力学模型与实验结果吻合 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 本章参考文献 | 第48-50页 |
| 第五章 带质量块纳米梁力学性质模型研究 | 第50-61页 |
| ·带质量块纳米梁力学测试结果与传统模型矛盾 | 第50-52页 |
| ·一种新带质量块纳米梁力学模型介绍 | 第52-54页 |
| ·新带质量块纳米梁力学模型与实验结果吻合 | 第54-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 本章参考文献 | 第60-61页 |
| 第六章 纳米梁电学性质研究 | 第61-67页 |
| ·纳米梁电学性质测试方法 | 第61页 |
| ·纳米梁电学性质测试结果 | 第61-63页 |
| ·试验结果其他原因排除 | 第63-65页 |
| ·实验结果讨论 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66页 |
| 本章参考文献 | 第66-67页 |
| 第七章 纳米梁应用研究 | 第67-75页 |
| ·应变硅技术中测试晶体管侧墙应力的方法 | 第67-71页 |
| ·浅槽隔离应力测量方法 | 第71-72页 |
| ·带硅质量块纳米梁构成加速度计 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 本章参考文献 | 第74-75页 |
| 第八章 结论 | 第75-77页 |
| 作者硕士阶段申请专利、发表论文和所受奖励 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
