基于激光自混合干涉的微角度测量技术
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·角度测量的应用背景及意义 | 第9页 |
| ·角度测量的主要方法 | 第9-13页 |
| ·机械式测角法 | 第10-11页 |
| ·电磁式测角法 | 第11页 |
| ·光学式测角法 | 第11-13页 |
| ·本文拟采用方法和工作目标 | 第13-15页 |
| 第二章 激光自混合干涉基本理论 | 第15-26页 |
| ·激光自混合干涉介绍 | 第15页 |
| ·激光自混合干涉的特点 | 第15-16页 |
| ·自混合干涉的基本理论 | 第16-20页 |
| ·三镜F-P腔模型 | 第16-19页 |
| ·反馈水平因子C的影响 | 第19-20页 |
| ·SMI测量的相位灵敏度 | 第20页 |
| ·自混合干涉应用研究进展 | 第20-25页 |
| ·自混合干涉位移测量研究 | 第20-22页 |
| ·自混合干涉速度测量 | 第22-24页 |
| ·自混合干涉绝对距离测量 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 激光自混合干涉的微角度测量技术研究 | 第26-50页 |
| ·测量角度的原理 | 第26-28页 |
| ·系统的组成和设计 | 第28-29页 |
| ·系统硬件组成的介绍 | 第29-32页 |
| ·光源 | 第29页 |
| ·硅光电池 | 第29-30页 |
| ·信号调理电路 | 第30页 |
| ·数据采集卡(DAQ) | 第30-31页 |
| ·精密电控旋转平台 | 第31页 |
| ·步进电机驱动器 | 第31-32页 |
| ·虚拟仪器技术及其应用 | 第32-36页 |
| ·虚拟仪器概述 | 第32-34页 |
| ·Labview的特点 | 第34-35页 |
| ·Labview软件的使用 | 第35-36页 |
| ·系统的软件设计 | 第36-39页 |
| ·角度扫描采样 | 第37-38页 |
| ·数据分析与处理 | 第38-39页 |
| ·数据存储 | 第39页 |
| ·自混合干涉信号的实验观察与分析 | 第39-43页 |
| ·实验观察 | 第39-42页 |
| ·结果分析 | 第42-43页 |
| ·傅立叶变换条纹位相分析法 | 第43-49页 |
| ·傅立叶变换位相测量原理 | 第43-44页 |
| ·自混合干涉条纹的位相分析和绝对零基准角的确定 | 第44-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 测量步进电机驱动的旋转平台重复定位误差 | 第50-55页 |
| ·测量原理 | 第50-51页 |
| ·测量方法和实验结果 | 第51-54页 |
| ·误差分析 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 总结与展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
