| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-33页 |
| §1.1 引言 | 第11-20页 |
| §1.2 国内外相关研究工作 | 第20-28页 |
| ·国外相关研究工作 | 第20-23页 |
| ·国内相关研究工作 | 第23-28页 |
| §1.3 本文主要研究工作 | 第28-29页 |
| §1.4 小结 | 第29页 |
| 参考文献 | 第29-33页 |
| 第二章 样品制备及结构性能表征 | 第33-66页 |
| §2.1 磁控溅射镀膜及其原理 | 第33-35页 |
| §2.2 薄膜微结构的表征 | 第35-36页 |
| §2.3 薄膜组分及化学状态的表征 | 第36-37页 |
| §2.4 薄膜厚度的表征 | 第37-47页 |
| ·表面轮廓仪测量膜厚 | 第38-42页 |
| ·椭偏解谱软件FilmWizard拟合透射光谱确定膜厚 | 第42-44页 |
| ·非线性回归分析软件1stOpt拟合透射光谱确定膜厚 | 第44-47页 |
| §2.5 薄膜光学性能的表征 | 第47-60页 |
| ·透射光谱 | 第47-49页 |
| ·反射光谱 | 第49-56页 |
| ·小角(5°)斜入射反射光的偏振性问题 | 第49-55页 |
| ·相对反射与绝对反射 | 第55-56页 |
| ·吸收光谱 | 第56-60页 |
| §2.6 薄膜电学性能的表征 | 第60-63页 |
| ·面电阻的定义 | 第60页 |
| ·面电阻的测量及四探针法原理 | 第60-63页 |
| §2.7 小结 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 第三章 Ag膜的制备、微结构及其特性 | 第66-89页 |
| §3.1 样品制备 | 第66-67页 |
| ·基片的清洗 | 第66页 |
| ·溅射镀膜 | 第66-67页 |
| §3.2 微结构分析 | 第67-69页 |
| §3.3 膜厚测量 | 第69-76页 |
| ·表面轮廓仪测量膜厚 | 第69-72页 |
| ·椭偏解谱软件FilmWizard拟合透射光谱确定膜厚 | 第72-74页 |
| ·非线性回归分析软件1stOpt拟合透射光谱确定膜厚 | 第74-76页 |
| §3.4 光学特性 | 第76-83页 |
| ·透射光谱分析 | 第76-78页 |
| ·反射光谱分析 | 第78-79页 |
| ·吸收光谱分析 | 第79-81页 |
| ·光学常数分析 | 第81-83页 |
| §3.5 电学特性 | 第83-85页 |
| §3.6 小结 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-89页 |
| 第四章 ITO膜的制备、微结构、组分及其特性 | 第89-117页 |
| §4.1 样品制备 | 第89-90页 |
| ·基片的清洗 | 第89页 |
| ·溅射镀膜 | 第89-90页 |
| §4.2 微结构分析 | 第90-94页 |
| §4.3 组分及化学态分析 | 第94-98页 |
| §4.4 膜厚测量 | 第98-105页 |
| ·表面轮廓仪测量膜厚 | 第98-100页 |
| ·椭偏解谱软件FilmWizard拟合透射光谱确定膜厚 | 第100-102页 |
| ·非线性回归分析软件1stOpt拟合透射光谱确定膜厚 | 第102-105页 |
| §4.5 光学特性 | 第105-112页 |
| ·透射光谱分析 | 第105-106页 |
| ·反射光谱分析 | 第106-108页 |
| ·吸收光谱分析 | 第108-109页 |
| ·光学常数分析 | 第109-112页 |
| §4.6 电学特性 | 第112-113页 |
| §4.7 小结 | 第113-115页 |
| 参考文献 | 第115-117页 |
| 第五章 Ag-ITO复合薄膜的制备、微结构及其特性 | 第117-140页 |
| §5.1 样品制备 | 第117-118页 |
| ·基片的清洗 | 第117页 |
| ·溅射镀膜 | 第117-118页 |
| §5.2 微结构分析 | 第118-124页 |
| §5.3 膜厚测量 | 第124-127页 |
| §5.4 光学特性 | 第127-134页 |
| ·透射光谱分析 | 第127-129页 |
| ·反射光谱分析 | 第129-131页 |
| ·吸收光谱分析 | 第131-132页 |
| ·透反射实例 | 第132-134页 |
| §5.5 电学特性 | 第134-136页 |
| §5.6 效能因子和分光比 | 第136-137页 |
| §5.7 小结 | 第137-139页 |
| 参考文献 | 第139-140页 |
| 第六章 结论 | 第140-145页 |
| 结语 | 第145-147页 |
| 附录1:JADE数据分析软件简介 | 第147-150页 |
| 附录2:1stOpt优化分析软件简介 | 第150-152页 |
| 附图表 | 第152-158页 |
| 致谢 | 第158-159页 |
| 攻读博士学位期间发表论文 | 第159页 |
