| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·表面轮廓及其研究意义 | 第9-11页 |
| ·表面轮廓测量技术及其测量仪器的发展 | 第11-15页 |
| ·大量程、高精度轮廓仪的发展与现状 | 第15-17页 |
| ·本文的创新及主要工作 | 第17-19页 |
| ·课题来源 | 第19-20页 |
| 2 杠杆触针式位移传感器测量误差分析 | 第20-35页 |
| ·杠杆前端几何非线性误差分析 | 第20-26页 |
| ·杠杆后端非线性误差分析 | 第26-31页 |
| ·非线性误差的补偿分析 | 第31-33页 |
| ·测量力对测量精度的影响 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 基于工作台零位跟踪的大量程轮廓综合测量系统的总体设计 | 第35-58页 |
| ·测量系统的总体结构 | 第35-37页 |
| ·测量系统的技术指标 | 第37-38页 |
| ·测量系统的测量原理 | 第38-41页 |
| ·影响轮廓测量精度的一个关键因素 | 第41-46页 |
| ·其它几个需要讨论的问题 | 第46-47页 |
| ·测控系统设计方案 | 第47-50页 |
| ·大量程轮廓综合测量系统精度性能指标的评价实验 | 第50-53页 |
| ·应用测量 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 4 双衍射光栅位移传感器的研究 | 第58-72页 |
| ·双衍射光栅位移传感器的结构、原理及特性 | 第58-63页 |
| ·传感器杠杆后端非线性误差分析 | 第63-65页 |
| ·传感器的标定 | 第65-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 5 计量型X-Y-Z 三维工作台的研究 | 第72-87页 |
| ·结构设计与分析 | 第72-76页 |
| ·双衍射光栅计量系统 | 第76-82页 |
| ·工作台零位跟踪系统动态特性分析及重复定位精度实验 | 第82-83页 |
| ·工作台计量系统精度标定实验 | 第83-86页 |
| ·工作台计量系统分辨率实验 | 第86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 6 大量程轮廓综合测量系统的软件设计及测量数据处理 | 第87-108页 |
| ·软件的总体设计 | 第87-88页 |
| ·表面粗糙度测量软件模块 | 第88-89页 |
| ·形状及尺寸误差测量软件模块 | 第89-91页 |
| ·测量参数的设置 | 第91页 |
| ·综合测量数据的评定模块 | 第91-102页 |
| ·大量程轮廓综合测量及评定实例 | 第102-107页 |
| ·本章小结 | 第107-108页 |
| 7 总结与展望 | 第108-111页 |
| ·全文总结 | 第108-110页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第110-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-118页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表学术论文目录 | 第118-119页 |
| 附录2 网上检索EI 收录发表文章 | 第119页 |
