波长移相干涉测量技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-11页 |
| ·课题的研究背景 | 第7-10页 |
| ·项目来源 | 第10页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第10-11页 |
| 2 移相干涉技术 | 第11-20页 |
| ·移相干涉术的基本原理 | 第11-16页 |
| ·常见的移相方法 | 第16-18页 |
| ·时间移相法 | 第16-17页 |
| ·空间移相法 | 第17-18页 |
| ·移相干涉术的应用 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 3 波长移相干涉测量技术 | 第20-38页 |
| ·波长移相干涉测量原理 | 第20-26页 |
| ·波长移相基本原理 | 第20-22页 |
| ·三步移相法和四步移相法 | 第22-24页 |
| ·四步平均法 | 第24页 |
| ·Carre方法和Carre平均法 | 第24-25页 |
| ·重叠四步平均法 | 第25-26页 |
| ·波长可调谐半导体激光器 | 第26-31页 |
| ·可调谐半导体激光器的调谐机理 | 第26-28页 |
| ·可调谐半导体激光器的波长稳定 | 第28页 |
| ·可调谐半导体激光器波长移相的标定 | 第28-31页 |
| ·波长移相干涉技术应用 | 第31-37页 |
| ·基于波长移相的多表面测量 | 第31-33页 |
| ·基于波长移相的台阶测量 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 波长移相干涉计算机仿真实现 | 第38-58页 |
| ·引入波长步进漂移误差 | 第38-39页 |
| ·生成模拟干涉图 | 第39-41页 |
| ·计算相位 | 第41-42页 |
| ·解包相位 | 第42-47页 |
| ·相位解包的原理 | 第42-44页 |
| ·相位解包算法仿真实现 | 第44-47页 |
| ·计算 PV值 | 第47页 |
| ·仿真结果 | 第47-57页 |
| ·三步法仿真结果 | 第48-51页 |
| ·四步法仿真结果 | 第51-53页 |
| ·四步平均法仿真结果 | 第53-55页 |
| ·重叠四步平均法仿真结果 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 5 波长移相干涉实验系统 | 第58-68页 |
| ·实验装置系统建立 | 第58-61页 |
| ·干涉系统 | 第58-60页 |
| ·可调谐半导体激光器 | 第60-61页 |
| ·实验结果与分析 | 第61-66页 |
| ·激光器标定 | 第61-65页 |
| ·测试结果 | 第65-66页 |
| ·误差分析 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 6 结论 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
