| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-26页 |
| ·外延薄膜晶体中位错问题的重要性 | 第9-10页 |
| ·失配位错及其形成的热力学条件 | 第10-12页 |
| ·失配位错形成的动力学条件及其意义 | 第12-14页 |
| ·分子动力学方法的原理、技术及其在本研究中的应用 | 第14-24页 |
| ·原理 | 第15-16页 |
| ·技术 | 第16-23页 |
| ·应用 | 第23-24页 |
| ·国内外对失配位错形成的原子模拟研究 | 第24-25页 |
| ·本文研究内容与目的 | 第25-26页 |
| 第二章 温度对外延薄膜失配位错形成的影响 | 第26-38页 |
| ·模型和参数设置 | 第26-29页 |
| ·生长温度对外延薄膜体系失配位错形成的影响 | 第29-37页 |
| ·对负失配体系下的薄膜的影响 | 第29-33页 |
| ·对正失配体系下的薄膜的影响 | 第33-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 第三章 表面增原子对外延薄膜失配位错形成的诱发作用 | 第38-48页 |
| ·模型和参数设置 | 第38-39页 |
| ·增原子对失配位错形成的诱发作用及其影响 | 第39-46页 |
| ·小结 | 第46-48页 |
| 第四章 外延薄膜晶体失配位错与失配性质的关系 | 第48-51页 |
| 总结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-60页 |
| 硕士期间的研究成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |