| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-14页 |
| ·研究背景介绍 | 第10-12页 |
| ·客户需求分析 | 第12-14页 |
| 2 失效描述与失效分析 | 第14-38页 |
| ·失效描述 | 第14-16页 |
| ·PVM 分析 | 第16-28页 |
| ·电路分析 | 第28-38页 |
| 3 工艺模拟与工艺优化 | 第38-48页 |
| ·工艺模拟 | 第39-43页 |
| ·工艺优化 | 第43-48页 |
| 4 总结 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第53-54页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第54页 |