| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| §1-1 太阳能电池 | 第8-10页 |
| 1-1-1 太阳能电池的发展现状 | 第8-9页 |
| 1-1-2 硅薄膜电池的优势和面临的挑战 | 第9页 |
| 1-1-3 硅薄膜电池的发展趋势和应用前景 | 第9-10页 |
| §1-2 透明导电氧化物薄膜 | 第10-11页 |
| 1-2-1 透明导电氧化物薄膜的发展和应用 | 第10页 |
| 1-2-2 透明导电氧化物薄膜的种类和特点 | 第10-11页 |
| 1-2-3 透明导电氧化物薄膜的制备 | 第11页 |
| §1.3 ZAO 透明导电薄膜 | 第11-12页 |
| 1-3-1 ZAO 薄膜的性质 | 第11页 |
| 1-3-2 ZAO 薄膜的研究现状及太阳能电池上的应用 | 第11-12页 |
| §1.4 绒面 ZAO 薄膜 | 第12-13页 |
| 1-4-1 绒面薄膜在电池中的作用 | 第12-13页 |
| 1-4-2 绒面ZAO 薄膜的制备方法 | 第13页 |
| §1.5 课题主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 实验设备和测试仪器 | 第15-19页 |
| §2-1 实验设备 | 第15-16页 |
| 2-1-1 ZAO 薄膜实验设备 | 第15页 |
| 2-1-2 硅薄膜太阳能电池实验设备 | 第15-16页 |
| §2-2 薄膜性能测试仪器 | 第16-19页 |
| 2-2-1 椭偏测试仪 | 第16-17页 |
| 2-2-2 分光光度计 | 第17页 |
| 2-2-3 霍尔测试仪 | 第17-18页 |
| 2-2-4 X-ray 衍射仪 | 第18页 |
| 2-2-5 扫描电子显微镜 | 第18-19页 |
| 第三章 绒面 ZAO 薄膜的制备和分析 | 第19-38页 |
| §3.1 平面ZAO 薄膜的制备工艺 | 第19-22页 |
| 3-1-1 磁控溅射 | 第19-20页 |
| 3-1-2 中频脉冲磁控溅射 | 第20-22页 |
| §3-2 绒面ZAO 薄膜的制备工艺 | 第22页 |
| §3-3 沉积工艺对ZAO 薄膜性能的影响分析 | 第22-36页 |
| 3-3-1 氧流量对ZAO 薄膜性能的影响 | 第22-26页 |
| 3-3-2 衬底温度对ZAO 薄膜性能的影响 | 第26-30页 |
| 3-3-3 工作压力对ZAO 薄膜性能的影响 | 第30-33页 |
| 3-3-4 溅射功率对ZAO 薄膜性能的影响 | 第33-36页 |
| §3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 绒面 ZAO 薄膜在太阳能电池上的应用 | 第38-43页 |
| §4.1 非晶硅薄膜电池的制备工艺 | 第38-39页 |
| §4-2 绒面ZAO 薄膜对电池性能的影响 | 第39-41页 |
| §4-3 ZAO 薄膜腐蚀前后在电池上的应用比较 | 第41页 |
| §4-4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第五章 结论 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第47页 |