基于超高速光导开关的纳米级MIM结构串联现象的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·纳米科技及纳米器件 | 第8-9页 |
| ·光导开关的研究进展及应用 | 第9-11页 |
| ·纳米加工技术 | 第11-14页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第14-16页 |
| 第二章 超高速光导开关的理论研究及设计 | 第16-33页 |
| ·光导开关的理论研究 | 第16-20页 |
| ·超高速光导开关的衬底材料选择 | 第20-21页 |
| ·超高速光导开关的结构设计 | 第21-24页 |
| ·超高速光导开关输出特性的理论计算 | 第24-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 超高速光导开关的加工与测试 | 第33-46页 |
| ·超高速光导开关的加工流程 | 第33-40页 |
| ·超高速光导开关的基本性能测试 | 第40-43页 |
| ·加工实验分析 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 纳米氧化钛线加工的研究 | 第46-60页 |
| ·AFM基本结构和工作原理 | 第46-48页 |
| ·AFM针尖诱导氧化加工的机理和理论模型 | 第48-52页 |
| ·AFM针尖诱导阳极氧化加工的影响因素 | 第52-54页 |
| ·钛膜的测试分析 | 第54-55页 |
| ·氧化钛线的分析研究 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 光导开关MIM结构串联现象的研究 | 第60-74页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·隧穿理论 | 第60-69页 |
| ·超高速光导开关的 MIM 结构 | 第69-72页 |
| ·结论 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
