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Si及ZnO纳米晶制备新方法及其发光性能的研究

摘要第1-3页
ABSTRACT第3-7页
第一章 绪论第7-22页
   ·引言第7-8页
   ·硅基纳米发光材料的研究现状第8-15页
     ·硅基纳米发光材料的研究意义第8页
     ·硅量子点的制备方法第8-13页
       ·多层膜退火法第8-9页
       ·复合薄膜退火法第9页
       ·单层量子点生长第9-10页
       ·热活性法第10-12页
       ·高功率溅射法第12-13页
     ·硅量子点材料存在的问题第13-14页
     ·硅量子点的发光机理第14-15页
       ·量子限制(Quantum Confinement Effect, QCE)模型第14页
       ·发光中心(Luminescent Center, LC)模型第14页
       ·量子限制—发光中心(QC-LCs)模型第14-15页
       ·表面态和界面态模型第15页
   ·氧化锌纳米材料的发展现状第15-20页
     ·氧化锌纳米材料的研究意义第15-16页
     ·氧化锌纳米晶的制备方法第16-18页
       ·脉冲激光沉积法第16-17页
       ·溶胶-凝胶法第17-18页
       ·有机金属化学气相沉积第18页
       ·磁控溅射法第18页
     ·氧化锌纳米晶的发光机制第18-20页
   ·本课题的试验思路及创新之处第20-22页
第二章 试验原料和试验装置第22-24页
   ·试验原料第22页
   ·试验装置与测试设备第22-24页
     ·JGP450G 型三靶共溅射高真空磁控溅射设备第22页
     ·GSL 1600X 真空管式高温炉第22-23页
     ·光致发光性能测试(PL)第23页
     ·微观结构分析(TEM)第23页
     ·结晶相分析(XRD)第23页
     ·表面价态分析(XPS)第23-24页
第三章 Si 纳米晶的制备及其发光性能的研究第24-42页
   ·利用反应溅射的方法制备Si 纳米晶第24-30页
     ·样品的制备第24页
     ·试验结果与讨论第24-30页
       ·光致发光性能的分析第24-25页
       ·表面化学键的分析第25-26页
       ·微观结构的分析第26-28页
       ·晶粒生长模型第28-29页
       ·发光机理的分析第29-30页
   ·利用热活性的方法制备Si 纳米晶第30-41页
     ·Al/SiO_2 复合膜试验方案第31-34页
       ·样品的制备第31页
       ·试验结果与分析第31-34页
     ·SiO_2/Al/SiO_2 三明治薄膜试验方案第34-41页
       ·样品的制备第34-35页
       ·试验结果与分析第35-41页
   ·本章小结第41-42页
第四章 反应溅射制备ZnO 纳米晶第42-51页
   ·样品的制备第42页
   ·试验结果与分析第42-49页
     ·光致发光性能分析第42-43页
     ·结晶相与微观结构的分析第43-47页
     ·表面价键的分析第47-49页
     ·晶体生长模型第49页
     ·发光机理的研究第49页
   ·本章小结第49-51页
第五章 结论第51-52页
参考文献第52-58页
发表论文和参加科研情况说明第58-59页
致谢第59页

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