AFM微探针纳米刻划深度仿真及实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题背景意义及研究目的 | 第8-9页 |
| ·微纳加工技术的研究现状 | 第9-13页 |
| ·传统微细加工技术研究现状 | 第9-11页 |
| ·基于原子力显微镜的微纳加工研究现状 | 第11-13页 |
| ·本课题研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 微探针压入过程分析 | 第14-22页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·针尖下材料的变形分析 | 第14-15页 |
| ·压痕实验理论分析 | 第15-19页 |
| ·量纲分析 | 第15-17页 |
| ·理论推导 | 第17-19页 |
| ·压痕实验研究 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 微探针刻划过程有限元仿真 | 第22-40页 |
| ·引言 | 第22-23页 |
| ·有限元网格畸变和网格重划分 | 第23-25页 |
| ·有限元模型的建立 | 第25-33页 |
| ·几何模型的建立 | 第25-29页 |
| ·单元类型的选择 | 第29-30页 |
| ·材料模型的建立 | 第30-31页 |
| ·摩擦模型的建立 | 第31-32页 |
| ·边界条件的建立 | 第32-33页 |
| ·仿真分析 | 第33-35页 |
| ·刻划过程分析 | 第33-34页 |
| ·两种刻划模式对加工深度的影响 | 第34-35页 |
| ·深度可控方法的加工仿真 | 第35-39页 |
| ·深度可控的加工方法简介 | 第35页 |
| ·深度可控的加工方法的边界条件 | 第35-37页 |
| ·深度可控有限元仿真的实现 | 第37-38页 |
| ·仿真结果分析 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 微探针刻划过程实验研究 | 第40-54页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·微探针刻划实验准备 | 第40-44页 |
| ·样品制备 | 第40-41页 |
| ·人机交互界面的编制 | 第41-44页 |
| ·微探针刻划过程实验研究 | 第44-50页 |
| ·针尖负载对加工深度的影响 | 第45-46页 |
| ·工作台速度对加工深度的影响 | 第46-48页 |
| ·工作台进给量对加工深度的影响 | 第48-49页 |
| ·其他因素对加工深度的影响 | 第49-50页 |
| ·微探针刻划有限元仿真模型的验证 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第60-61页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第61页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第61页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
