基于微加工技术的光开关及光互连结构研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 概述 | 第9-37页 |
| ·本论文的研究内容、主要工作及创新点 | 第9-11页 |
| ·本论文的研究内容及结构 | 第9页 |
| ·作者的主要工作 | 第9-10页 |
| ·本文的主要创新点 | 第10-11页 |
| ·技术背景及市场需求 | 第11-13页 |
| ·光开关技术现状 | 第13-22页 |
| ·机械型光开关 | 第13-15页 |
| ·MEMS型光开关 | 第15-19页 |
| ·波导型光开关 | 第19-20页 |
| ·液晶型光开关 | 第20-22页 |
| ·其他类型的光开关 | 第22页 |
| ·微加工技术及MEMS概述 | 第22-32页 |
| ·硅基MEMS技术 | 第23-28页 |
| ·非硅基MEMS技术 | 第28-32页 |
| ·软光刻技术概述 | 第32-36页 |
| ·工艺简介 | 第32-33页 |
| ·工艺类型 | 第33-34页 |
| ·软光刻在微光学中的应用 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第一部分 基于非硅基微加工技术的微机械光开关 | 第37-80页 |
| 第二章 非硅基自锁型微机械光开关 | 第37-49页 |
| ·工作原理及基本结构 | 第38-39页 |
| ·理论分析与计算 | 第39-47页 |
| ·驱动单元的理论分析 | 第39-44页 |
| ·开关时间的理论计算 | 第44-47页 |
| ·器件性能测试 | 第47-48页 |
| ·开关时间测量 | 第47-48页 |
| ·其他测试 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 非硅基小型可扩展1×2微机械光开关 | 第49-55页 |
| ·相关背景 | 第49-50页 |
| ·器件设计及结构改进 | 第50-52页 |
| ·性能测试与比较 | 第52-54页 |
| ·插入损耗 | 第52页 |
| ·开关时间 | 第52-53页 |
| ·重复性 | 第53页 |
| ·开关寿命 | 第53页 |
| ·外形尺寸 | 第53页 |
| ·驱动电压及输入功率 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 非硅基光纤直接耦合型光开关 | 第55-64页 |
| ·技术背景 | 第55-56页 |
| ·器件设计与制作 | 第56-57页 |
| ·器件理论分析 | 第57-62页 |
| ·驱动系统电磁场分析 | 第57-61页 |
| ·弹性框架性能分析 | 第61-62页 |
| ·性能测试 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 微机械开关器件制作工艺 | 第64-80页 |
| ·实现技术简介 | 第64-66页 |
| ·EDM技术 | 第64-65页 |
| ·CNC雕刻技术 | 第65-66页 |
| ·关键元件性能研究 | 第66-73页 |
| ·准直器性能理论分析及测试 | 第67-69页 |
| ·准直器焊接固定稳定性实验研究 | 第69-73页 |
| ·器件制作工艺介绍 | 第73-74页 |
| ·器件的制作工艺步骤 | 第73页 |
| ·封装中的主要问题 | 第73-74页 |
| ·准直器对准调节装置 | 第74-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第二部分 基于软光刻技术的光学器件 | 第80-105页 |
| 第六章 基于软光刻的光互连耦合结构 | 第80-94页 |
| ·光互连概述 | 第81-85页 |
| ·光互连的兴起及其发展 | 第81页 |
| ·光互连的分类 | 第81-82页 |
| ·光互连存在的技术问题 | 第82-83页 |
| ·光电系统的思路设计 | 第83-85页 |
| ·光互联耦合结构方案 | 第85-86页 |
| ·光互连耦合结构原理 | 第85-86页 |
| ·光互连耦合波导的设计 | 第86-88页 |
| ·已经提出设计方案及其缺点 | 第86-87页 |
| ·三维光互连耦合波导方案的设计 | 第87-88页 |
| ·三种结构的耦合效率模拟 | 第88-91页 |
| ·光互连耦合波导结构参数设计 | 第89-90页 |
| ·三种结构耦合效率对比性分析 | 第90-91页 |
| ·光互连耦合结构的制作 | 第91-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第七章 定向耦合器型高聚物光开关 | 第94-103页 |
| ·高聚物光开关概况 | 第94-96页 |
| ·理论分析 | 第96-97页 |
| ·波导结构数值计算及器件性能数值模拟 | 第97-102页 |
| ·波导结构数值计算 | 第97-100页 |
| ·器件性能数值模拟 | 第100-102页 |
| ·结论 | 第102-103页 |
| 第八章 总结与展望 | 第103-105页 |
| ·工作总结： | 第103页 |
| ·分析与展望 | 第103-105页 |
| 【参考文献】 | 第105-109页 |
| 附录1：博士期间发表论文： | 第109-110页 |
| 附录2：博士期间授权和申请的专利： | 第110-111页 |
| 致谢 | 第111页 |
