| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 概述 | 第10-18页 |
| ·铁电材料及其应用 | 第10-13页 |
| ·集成铁电薄膜器件的电极材料 | 第13-14页 |
| ·LNO 材料的结构与性质 | 第14-15页 |
| ·LNO 薄膜制备方法简介 | 第15-16页 |
| ·LNO 薄膜研究现状 | 第16-17页 |
| ·论文选题及研究方案 | 第17-18页 |
| 第二章 实验方法与原理 | 第18-30页 |
| ·LNO 薄膜及BTO/LNO 多层薄膜的制备 | 第18-23页 |
| ·LNO 薄膜的生长及铁电集成性实验中分析表征方法 | 第23-26页 |
| ·铁电BTO 薄膜电畴表征及电性能测试 | 第26-30页 |
| 第三章 氧分压对LNO 薄膜微结构影响的RHEED 原位研究 | 第30-37页 |
| ·引子 | 第30页 |
| ·氧分压对LNO 薄膜微结构影响的RHEED 原位观察 | 第30-34页 |
| ·氧分压对LNO 薄膜中元素化学态的影响 | 第34-36页 |
| ·氧分压影响LNO 薄膜微结构的机理 | 第36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 第四章 LNO 薄膜在不同氧化物基片上的外延生长 | 第37-45页 |
| ·实验 | 第37页 |
| ·结构分析与讨论 | 第37-42页 |
| ·LNO 薄膜的表面形貌分析 | 第42-43页 |
| ·LNO 薄膜的电阻率 | 第43-44页 |
| ·结论 | 第44-45页 |
| 第五章 LNO 薄膜的铁电集成性研究 | 第45-56页 |
| ·实验 | 第45页 |
| ·BTO/LNO 铁电集成薄膜的微结构研究 | 第45-51页 |
| ·不同取向的外延BTO/LNO 铁电集成薄膜的电性能研究 | 第51-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 主要结论与创新点 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 个人简历及在读期间发表的论文和申请的专利 | 第60页 |
| 个人简历 | 第60页 |
| 在读期间已发表和待发表的论文 | 第60页 |
| 已授权和申请中的专利 | 第60页 |
