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一种基于软光刻的光互联耦合结构

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-16页
   ·光学与光电子技术第8-10页
   ·光纤通信技术发展概况第10-14页
   ·光互连技术发展概况第14-16页
第二章 光互连与电互连性能比较第16-22页
   ·互连的分类第16-17页
   ·电互连发展瓶颈第17-18页
   ·光互连与光交换的优点第18-19页
   ·光电系统的思路设计第19-22页
第三章 光互连结构耦合总体方案第22-30页
   ·光互连耦合结构运用于PCB上的原理第22-23页
   ·光源技术第23-27页
     ·垂直腔变激光器(VCSEL)第23-25页
     ·VCSEL发射模块的结构第25-26页
     ·光接收模块第26-27页
   ·光互连耦合波导的设计第27-30页
     ·已经提出设计方案及其缺点第27-28页
     ·三维光互连耦合波导方案的设计第28-30页
第四章 三种结构耦合效率模拟第30-36页
   ·光学设计软件ZEMAX介绍第30-32页
   ·利用ZEMAX进行结构模拟及耦合效率分析第32-36页
     ·光线追迹法第32页
     ·利用ZEMAX对新结构进行优化第32-34页
     ·三种结构耦合效率的比较第34-36页
第五章 新结构的时延分析第36-42页
   ·Mathcad软件介绍第36-37页
   ·新光波导结构的时延模型第37-38页
   ·利用Mathcad模拟时延分析第38-42页
第六章 软光刻法制作三维光互连耦合结构第42-54页
   ·软光刻技术:特点及发展回顾第42-46页
     ·工艺简介第42-43页
     ·工艺类型第43-44页
     ·软光刻技术:软光刻的关键部件第44-46页
   ·软光刻在微光学中的应用:从通常的2维向3维结构的飞跃第46-49页
     ·软光刻法复制微透镜第46-48页
     ·三维光学互联结构复制第48-49页
   ·多层光波导器件第49-54页
第七章 总结与展望第54-56页
参考文献第56-60页
硕士在读期间发表的论文及申请的专利第60-61页
致谢第61页

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