平板表面细微缺陷快速检测

论文摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-9页
第一章 平板表面缺陷检测的主要方法和发展需求	第9-12页
第一节 平板表面缺陷的评价方法和需求	第9页
第二节 快速平台缺陷检测的主要方法及其特点	第9-10页
第三节 拟解决的主要问题	第10-12页
第二章 快速扫描CCD表面检测技术	第12-22页
第一节 现有的CCD数字信号处理技术及特点	第12-13页
第二节 大规模平板检测过程中对光电检测提出的要求	第13-19页
第三节 高速CCD扫描表面缺陷检测系统的设计方案	第19-22页
第三章 主要部件的研制	第22-53页
第一节 D/A转换及CCD视频	第22-24页
第二节 细微毛刺捕捉的微分技术	第24-34页
第三节 帧图像处理的3×3卷积及图像边缘增强	第34-43页
第四节 高稳定度直流照明光源设计与研制	第43-44页
第五节 系统运行及数据处理的主要流程	第44-53页
第四章 基本性能和技术指标	第53-62页
第一节 技术指标	第53-54页
第二节 基本性能	第54-62页
第五章 总结	第62-63页
附录	第63-80页
附录一 若干技术问题	第63-71页
附录二 部分程序代码	第71-80页
参考文献	第80-83页
后记	第83页