基于光线扫描的纳米表面三维干涉测量系统
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1 引言 | 第10-12页 |
| 2 微表面三维形貌测量的主要方法 | 第12-22页 |
| ·微表面三维形貌测量方法的分类 | 第12-19页 |
| ·接触式测量方法 | 第13-14页 |
| ·激光三角法 | 第14-15页 |
| ·显微干涉法 | 第15-16页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第16-17页 |
| ·原子力显微镜 | 第17-18页 |
| ·扫描隧道显微镜 | 第18-19页 |
| ·现有测量方法的优缺点和国内外研究现状 | 第19-22页 |
| ·现有微表面三维形貌测量方法的优缺点 | 第19-21页 |
| ·国内外研究现状 | 第21-22页 |
| 3 基于线扫描的纳米表面三维干涉测量系统 | 第22-34页 |
| ·系统关键器件 | 第22-29页 |
| ·光隔离器 | 第22-23页 |
| ·光纤准直器 | 第23-24页 |
| ·闪耀光栅 | 第24-26页 |
| ·压电陶瓷叠堆执行器 | 第26-27页 |
| ·线阵CCD | 第27-29页 |
| ·系统原理 | 第29-34页 |
| ·光纤迈克尔逊干涉仪 | 第29-30页 |
| ·线扫描微纳米表面三维干涉测量系统 | 第30-34页 |
| 4 实验进展 | 第34-48页 |
| ·数据采集 | 第34-43页 |
| ·背景光噪声分析 | 第34-40页 |
| ·数据采集 | 第40-43页 |
| ·基于MATLAB的数据处理 | 第43-45页 |
| ·系统存在的问题 | 第45-48页 |
| 5 结论 | 第48-50页 |
| ·工作总结 | 第48页 |
| ·系统创新点 | 第48-49页 |
| ·展望 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 作者简历 | 第52-54页 |
| 学位论文数据集 | 第54页 |
