| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·选题背景及意义 | 第7-9页 |
| ·压力传感器研究历程的回顾 | 第9-13页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 薄膜电阻式压力传感器工作原理与性能表征方法 | 第15-31页 |
| ·电阻应变式传感器物理基础 | 第15-17页 |
| ·传感器性能表征方法 | 第17-22页 |
| ·转换电路 | 第22-26页 |
| ·弹性元件设计 | 第26-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 纳米薄膜电阻式压力传感器芯片研制 | 第31-42页 |
| ·弹性衬底材料选择 | 第31-32页 |
| ·弹性衬底预处理 | 第32页 |
| ·绝缘膜的制备与表征 | 第32-35页 |
| ·应变电阻薄膜制备与表征 | 第35-38页 |
| ·保护膜及电极制备与表征 | 第38页 |
| ·薄膜结构、形貌和厚度分析 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 稳定性研究 | 第42-52页 |
| ·薄膜电阻稳定性研究 | 第42-47页 |
| ·传感器的装配与传感器的测试结果 | 第47-49页 |
| ·传感器稳定性处理及分析 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 软件设计 | 第52-61页 |
| ·灵敏度温度漂移的补偿 | 第52-59页 |
| ·数据处理软件设计 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 结论与建议 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录1 传感器灵敏度温漂补偿C++程序 | 第67-69页 |
| 附录2 传感器特性计算Java程序 | 第69-75页 |
| 附录3 硕士生期间发表论文与出版书籍 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |