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一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器

摘要第1-6页
第一章 引言第6-22页
   ·微电子机械系统第6-14页
     ·MEMS器件和应用第7-8页
     ·MEMS制造技术第8-12页
       ·体微机械制造技术第8-9页
       ·表面微机械制造技术第9-11页
       ·铸模技术第11-12页
     ·总结和展望第12-14页
       ·MEMS技术在传感器领域应用的反思第12-13页
       ·MEMS技术展望第13-14页
   ·微机械加速度传感器第14-18页
     ·微机械加速度传感器原理第14-16页
     ·压阻式微机械加速度传感器第16-18页
     ·电容式微机械加速度传感器第18页
   ·本论文研究内容第18-19页
 参考文献第19-22页
第二章 传感器设计原理第22-41页
   ·一种微梁直拉直压的压阻式加速度传感器第22-23页
   ·结构的力学模型分析第23-33页
     ·传感器灵敏度第28-29页
     ·过载保护结构设计第29页
     ·传感器自由振动频率第29-31页
     ·传感器结构的阻尼考虑第31-32页
     ·一个设计实例第32-33页
   ·传感器结构的有限元模拟第33-35页
     ·微梁的直拉直压条件的有限元模拟修正第33-34页
     ·传感器静态力学特性的有限元模拟第34页
     ·传感器结构的动态特性的有限元模拟第34-35页
     ·有限元模拟结果和力学模型分析结果的比较第35页
   ·传感器的横向效应分析第35-37页
     ·X方向横向效应第35-36页
     ·Z方向横向效应第36-37页
     ·传感器的横向效应总结第37页
   ·传感器的热分析第37-40页
     ·稳态温度分布分析第38-39页
     ·瞬态热分析第39-40页
   ·本章总结第40页
 参考文献第40-41页
第三章 传感器结构优化和设计规则第41-48页
   ·传感器结构优化第41-43页
   ·不同量程传感器的设计规则第43-46页
   ·传感器设计规则的程序化第46-47页
 参考文献第47-48页
第四章 传感器制作第48-53页
   ·传感器芯片制作工艺流程第48-50页
   ·背面DRIE刻蚀工艺第50-51页
   ·下盖板制作工艺第51-52页
   ·传感器封装第52页
 参考文献第52-53页
第五章 传感器测试第53-57页
   ·传感器静态特性测试第53-54页
   ·传感器动态特性测试第54-55页
     ·传感器低频线性输出特性测试第54-55页
     ·传感器自由振动频率测试第55页
   ·传感器噪声测试第55-56页
   ·传感器测试结果总结第56页
 参考文献第56-57页
第六章 结论第57-58页
 参考文献第57-58页
致谢第58-59页
个人简历第59页
硕士期间发表文章第59页

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