一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器
摘要 | 第1-6页 |
第一章 引言 | 第6-22页 |
·微电子机械系统 | 第6-14页 |
·MEMS器件和应用 | 第7-8页 |
·MEMS制造技术 | 第8-12页 |
·体微机械制造技术 | 第8-9页 |
·表面微机械制造技术 | 第9-11页 |
·铸模技术 | 第11-12页 |
·总结和展望 | 第12-14页 |
·MEMS技术在传感器领域应用的反思 | 第12-13页 |
·MEMS技术展望 | 第13-14页 |
·微机械加速度传感器 | 第14-18页 |
·微机械加速度传感器原理 | 第14-16页 |
·压阻式微机械加速度传感器 | 第16-18页 |
·电容式微机械加速度传感器 | 第18页 |
·本论文研究内容 | 第18-19页 |
参考文献 | 第19-22页 |
第二章 传感器设计原理 | 第22-41页 |
·一种微梁直拉直压的压阻式加速度传感器 | 第22-23页 |
·结构的力学模型分析 | 第23-33页 |
·传感器灵敏度 | 第28-29页 |
·过载保护结构设计 | 第29页 |
·传感器自由振动频率 | 第29-31页 |
·传感器结构的阻尼考虑 | 第31-32页 |
·一个设计实例 | 第32-33页 |
·传感器结构的有限元模拟 | 第33-35页 |
·微梁的直拉直压条件的有限元模拟修正 | 第33-34页 |
·传感器静态力学特性的有限元模拟 | 第34页 |
·传感器结构的动态特性的有限元模拟 | 第34-35页 |
·有限元模拟结果和力学模型分析结果的比较 | 第35页 |
·传感器的横向效应分析 | 第35-37页 |
·X方向横向效应 | 第35-36页 |
·Z方向横向效应 | 第36-37页 |
·传感器的横向效应总结 | 第37页 |
·传感器的热分析 | 第37-40页 |
·稳态温度分布分析 | 第38-39页 |
·瞬态热分析 | 第39-40页 |
·本章总结 | 第40页 |
参考文献 | 第40-41页 |
第三章 传感器结构优化和设计规则 | 第41-48页 |
·传感器结构优化 | 第41-43页 |
·不同量程传感器的设计规则 | 第43-46页 |
·传感器设计规则的程序化 | 第46-47页 |
参考文献 | 第47-48页 |
第四章 传感器制作 | 第48-53页 |
·传感器芯片制作工艺流程 | 第48-50页 |
·背面DRIE刻蚀工艺 | 第50-51页 |
·下盖板制作工艺 | 第51-52页 |
·传感器封装 | 第52页 |
参考文献 | 第52-53页 |
第五章 传感器测试 | 第53-57页 |
·传感器静态特性测试 | 第53-54页 |
·传感器动态特性测试 | 第54-55页 |
·传感器低频线性输出特性测试 | 第54-55页 |
·传感器自由振动频率测试 | 第55页 |
·传感器噪声测试 | 第55-56页 |
·传感器测试结果总结 | 第56页 |
参考文献 | 第56-57页 |
第六章 结论 | 第57-58页 |
参考文献 | 第57-58页 |
致谢 | 第58-59页 |
个人简历 | 第59页 |
硕士期间发表文章 | 第59页 |