| 第一章 引言 | 第1-13页 |
| ·概述 | 第8-10页 |
| ·国内外现状及发展趋势 | 第10-11页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 中心误差问题的提出和定义6 2.1 中心误差问题的提出 | 第13-18页 |
| ·中心误差问题的提出 | 第13-15页 |
| ·中心误差的定义 | 第15-18页 |
| ·旧标准的定义及其缺陷 | 第15-17页 |
| ·新国标对透镜中心误差的定义 | 第17-18页 |
| 第三章 定中心基准轴的传递和三类定中心体系 | 第18-25页 |
| ·第一类定中心体系 | 第19-21页 |
| ·第二类定中心体系 | 第21-22页 |
| ·第三类定中心体系 | 第22-23页 |
| ·小结 | 第23-25页 |
| 第四章 光学系统中心误差测量原理 | 第25-30页 |
| ·测量原理 | 第25-28页 |
| ·基准轴变换原理 | 第28-30页 |
| 第五章 三种高性能光学系统装校定中心的方法和结果 | 第30-51页 |
| ·定中心仪器 | 第30-34页 |
| ·亚微米(i线和g线)投影光刻物镜的定心 | 第34-41页 |
| ·技术要求 | 第34-35页 |
| ·系统的高精度定中心工艺方案设计 | 第35-36页 |
| ·中心误差测量与计算机辅助调整 | 第36-38页 |
| ·计算机辅助胶合定心 | 第38页 |
| ·研制结果 | 第38-41页 |
| ·一种大口径投影光刻制版镜头的装校定心 | 第41-48页 |
| ·简介 | 第41页 |
| ·镜头的主要技术指标 | 第41-42页 |
| ·结构特点 | 第42-43页 |
| ·定中心装校 | 第43-45页 |
| ·结果与分析 | 第45-48页 |
| ·一种红外系统的装校定心方法 | 第48-51页 |
| 第六章 提高光学系统定中心精度的途径 | 第51-58页 |
| ·分析 | 第51-52页 |
| ·超高精度中心偏测量仪技术指标 | 第52-53页 |
| ·主光学系统 | 第52页 |
| ·照明系统 | 第52页 |
| ·机械结构 | 第52-53页 |
| ·基准轴 | 第53页 |
| ·基准轴设计要点 | 第53-54页 |
| ·精度分析 | 第54-55页 |
| ·系统误差 | 第54页 |
| ·偶然误差 | 第54页 |
| ·仪器总误差 | 第54-55页 |
| ·讨论 | 第55-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 个人简历 | 第63-64页 |