硅微谐振式加速度计的温度特性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 1 前言 | 第9-18页 |
| ·硅微谐振式加速度计概述 | 第9页 |
| ·谐振式加速度计的国内外发展概况 | 第9-14页 |
| ·南京理工大学研究状况 | 第14-16页 |
| ·研究情况简介 | 第15页 |
| ·加工工艺 | 第15-16页 |
| ·存在的问题 | 第16页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 硅微谐振式加速度计的基本理论 | 第18-34页 |
| ·SRA的工作机理 | 第18-19页 |
| ·谐振器理论 | 第19-27页 |
| ·谐振器F-STF模型 | 第19-23页 |
| ·谐振器振型方程及参数推导 | 第23-25页 |
| ·谐振器固有频率仿真及实验验证 | 第25-27页 |
| ·杠杆及支撑系统 | 第27-32页 |
| ·杠杆及支撑系统理论模型 | 第27-30页 |
| ·杠杆放大及系统刚度仿真 | 第30-31页 |
| ·杠杆放大系数实验验证 | 第31-32页 |
| ·SRA基本性能指标和测试方法 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3 谐振器非线性振动 | 第34-46页 |
| ·振幅与非线性理论推导 | 第34-40页 |
| ·谐波平衡法推导 | 第34-36页 |
| ·非线性系数推导 | 第36-40页 |
| ·非线性振动仿真 | 第40-42页 |
| ·正弦振动仿真 | 第40-41页 |
| ·振幅非线性仿真 | 第41-42页 |
| ·非线性实验 | 第42-45页 |
| ·驱动电压与振幅 | 第42-44页 |
| ·闭环电压与频率实验 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 4 硅微谐振式加速度计的温度特性 | 第46-68页 |
| ·温度影响机理 | 第46-47页 |
| ·弹性模量温度效应 | 第47-49页 |
| ·弹性模量对谐振频率和零偏的影响 | 第47-48页 |
| ·弹性模量对标度因数SF的影响 | 第48-49页 |
| ·残余应力温度效应 | 第49-57页 |
| ·应力对谐振频率的影响 | 第50-53页 |
| ·应力对零偏的影响 | 第53-54页 |
| ·应力对标度因数的影响 | 第54-57页 |
| ·加工尺寸误差的影响 | 第57-60页 |
| ·谐振频率 | 第58页 |
| ·标度因数SF | 第58-60页 |
| ·应力抑制结构的设计 | 第60-61页 |
| ·温度补偿 | 第61-67页 |
| ·主要补偿方法 | 第61-62页 |
| ·变电压式静电刚度补偿 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 5 实验测试 | 第68-77页 |
| ·SRA结构优化 | 第68-70页 |
| ·结构改进方式 | 第68页 |
| ·改进SRA主要参数 | 第68-70页 |
| ·SRA性能整体测试 | 第70-76页 |
| ·寻找机械零位 | 第70-71页 |
| ·零偏测试 | 第71-73页 |
| ·标度因数测试 | 第73-74页 |
| ·温度实验 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 6 总结与展望 | 第77-79页 |
| ·总结 | 第77-78页 |
| ·展望 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
