| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 1 绪论 | 第11-31页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·压电陶瓷执行器的应用 | 第11-17页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第11-13页 |
| ·光纤对接 | 第13-14页 |
| ·微型机械制造、超精密加工 | 第14页 |
| ·生物工程 | 第14页 |
| ·精密驱动工作台 | 第14页 |
| ·医疗科学 | 第14-16页 |
| ·微流体输送 | 第16-17页 |
| ·压电陶瓷执行器驱动技术的国内外研究现状 | 第17-19页 |
| ·压电陶瓷执行器控制技术的国内外现状 | 第19-29页 |
| ·压电陶瓷执行器的控制模型 | 第19-24页 |
| ·压电陶瓷执行器的控制方法 | 第24-29页 |
| ·本文研究的目的和内容 | 第29-30页 |
| ·本文的研究目的 | 第29页 |
| ·本文的研究内容 | 第29-30页 |
| ·全文安排 | 第30-31页 |
| 2 压电陶瓷执行器驱动电源的设计与实验测试 | 第31-49页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·压电陶瓷执行器驱动电源的设计 | 第31-36页 |
| ·驱动电源总体原理 | 第31-34页 |
| ·具有充放电电流控制的功率放大单元 | 第34页 |
| ·已有的压电陶瓷执行器驱动电源性能分析 | 第34页 |
| ·压电陶瓷执行器驱动电源的改进 | 第34-36页 |
| ·压电陶瓷执行器驱动电源的原理验证与仿真 | 第36-43页 |
| ·线性度 | 第36-37页 |
| ·阶跃响应 | 第37-40页 |
| ·动态响应及功率分布 | 第40页 |
| ·静态功耗 | 第40页 |
| ·频率响应特性 | 第40-43页 |
| ·压电陶瓷执行器驱动电源的实验测试 | 第43-48页 |
| ·线性度 | 第43页 |
| ·阶跃响应 | 第43-48页 |
| ·动态响应 | 第48页 |
| ·纹波 | 第48页 |
| ·分辨率 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 3 基于 Bouc-Wen 模型的压电陶瓷执行器的迟滞特性模拟 | 第49-69页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·Bouc-Wen 模型简介 | 第49-50页 |
| ·压电陶瓷执行器的 Bouc-Wen 模型和参数辨识 | 第50-56页 |
| ·压电陶瓷执行器的Bouc-Wen 模型 | 第50-52页 |
| ·参数辨识 | 第52-56页 |
| ·实验验证 | 第56-65页 |
| ·实验装置 | 第56-57页 |
| ·实验结果与分析 | 第57-62页 |
| ·模型推广能力的实验验证 | 第62-65页 |
| ·模型分析 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 4 基于 Bouc-Wen 模型的前馈补偿和 PI 反馈的混合控制 | 第69-85页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·基于 Bouc-Wen 模型的前馈补偿控制 | 第69-72页 |
| ·前馈控制简介 | 第69-70页 |
| ·基于Bouc-Wen 模型前馈补偿控制系统 | 第70-71页 |
| ·数字仿真 | 第71-72页 |
| ·误差分析 | 第72页 |
| ·PI 控制 | 第72-75页 |
| ·PID 控制简介 | 第72-73页 |
| ·PI 控制器的参数整定 | 第73-75页 |
| ·混合控制 | 第75-81页 |
| ·混合控制的原理 | 第75-76页 |
| ·混合控制参数的实验测定 | 第76-77页 |
| ·仿真与分析 | 第77-81页 |
| ·压电陶瓷执行器线性化方法的研究 | 第81-83页 |
| ·线性化控制系统的原理 | 第81页 |
| ·仿真与分析 | 第81-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 5 全文总结与展望 | 第85-88页 |
| ·本文主要研究工作 | 第85-86页 |
| ·本文主要贡献与创新点 | 第86-87页 |
| ·后续研究工作与展望 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-95页 |
| 附录 | 第95页 |
