| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 符号说明 | 第10-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-21页 |
| ·研究背景 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第13-17页 |
| ·超精密加工技术研究现状及分析 | 第13-16页 |
| ·超精密加工损伤层产生及研究现状 | 第16-17页 |
| ·半固着磨粒加工及“陷阱”效应的设想 | 第17-19页 |
| ·本课题的研究目标及意义 | 第19页 |
| ·本论文的研究内容与创新之处 | 第19页 |
| ·本论文的结构安排 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第2章 有关半固着磨粒加工与“陷阱”效应的探讨 | 第21-28页 |
| ·磨粒的相关概念 | 第21-24页 |
| ·磨粒的基本性质 | 第21页 |
| ·磨粒的分类 | 第21-22页 |
| ·磨粒的形状 | 第22-23页 |
| ·磨粒的粒度 | 第23-24页 |
| ·磨粒加工及半固着磨粒加工概述 | 第24-25页 |
| ·有关“陷阱”效应的探讨 | 第25-27页 |
| ·“陷阱”效应和半固着的关系 | 第25-26页 |
| ·“陷阱”效应和磨粒埋没现象的关系 | 第26页 |
| ·“陷阱”效应和气孔容屑作用的关系 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 半固着磨具设计制造及表层特性检测 | 第28-44页 |
| ·半固着磨具设计准则 | 第28-32页 |
| ·磨具制造 | 第32-37页 |
| ·配方设计 | 第33-34页 |
| ·成型料配制 | 第34页 |
| ·成型方式 | 第34-35页 |
| ·烘干固化 | 第35-36页 |
| ·磨具制造小结 | 第36-37页 |
| ·磨具表层特性检测 | 第37-42页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·磨具硬度的检测 | 第37-39页 |
| ·磨具孔隙率的检测 | 第39-41页 |
| ·磨具微观形貌的检测 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 半固着磨具“陷阱”效应验证及影响因素研究 | 第44-66页 |
| ·“陷阱”效应现象观察及验证实验 | 第44-50页 |
| ·“陷阱”效应现象观察实验 | 第44-45页 |
| ·“陷阱”效应验证实验 | 第45-50页 |
| ·“陷阱”效应研究实验系统 | 第50-55页 |
| ·“陷阱”效应评价指标 | 第50-51页 |
| ·大颗粒加入方式探讨 | 第51-54页 |
| ·实验装置及检测设备 | 第54-55页 |
| ·磨具特性对“陷阱”效应的影响 | 第55-57页 |
| ·大颗粒特性对“陷阱”效应的影响 | 第57-63页 |
| ·大颗粒浓度对“陷阱”效应的影响 | 第57-59页 |
| ·大颗粒尺寸对“陷阱”效应的影响 | 第59-62页 |
| ·大颗粒硬度对“陷阱”效应的影响 | 第62-63页 |
| ·加工工艺参数对“陷阱“效应的影响 | 第63-65页 |
| ·加工载荷的影响 | 第63-64页 |
| ·磨具转速的影响 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 大颗粒形状对“陷阱”效应影响的研究 | 第66-73页 |
| ·大颗粒形状对“陷阱”效应影响的离散元模拟 | 第66-70页 |
| ·半固着磨具PFC2D模型和大颗粒PFC2D模型建立 | 第66-68页 |
| ·模拟条件和方法 | 第68页 |
| ·模拟结果与讨论 | 第68-70页 |
| ·大颗粒形状对“陷阱”效应影响压头实验 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第6章 半固着磨粒加工试验 | 第73-80页 |
| ·实验装置与条件 | 第73-74页 |
| ·加工实验系统 | 第73-74页 |
| ·加工效果检测 | 第74页 |
| ·不同硬度半固着磨具研磨特性对比 | 第74-75页 |
| ·硅片的半固着磨粒加工 | 第75-78页 |
| ·不锈钢的半固着磨粒加工 | 第78-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第7章 总结与展望 | 第80-83页 |
| ·全文工作总结 | 第80-81页 |
| ·课题展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第88页 |