| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-26页 |
| ·论文的研究背景与意义 | 第12-15页 |
| ·MEMS的主要加工技术 | 第15-16页 |
| ·体微机械加工 | 第15页 |
| ·表面微机械加工 | 第15页 |
| ·键合工艺 | 第15-16页 |
| ·LIGA技术 | 第16页 |
| ·MEMS技术应用 | 第16-20页 |
| ·压阻式微机械加速度传感器 | 第20-24页 |
| ·本论文的主要工作 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 2 孔缝悬臂梁压阻式硅微加速度传感器的工作原理和结构设计 | 第26-41页 |
| ·传感器的结构 | 第26-28页 |
| ·悬臂梁压阻式硅微加速度传感器的工作原理 | 第28-33页 |
| ·单晶硅的压阻效应 | 第28-32页 |
| ·悬臂梁结构力学特性分析 | 第32-33页 |
| ·传感器的灵敏度 | 第33页 |
| ·悬臂梁压阻式硅微加速度传感器的频率响应 | 第33-38页 |
| ·梁-质量块结构的固有频率 | 第34-35页 |
| ·传感器的空气阻尼模型 | 第35-38页 |
| ·孔缝悬臂梁压阻式硅微加速度传感器的参数设计 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 3 孔缝悬臂梁压阻式硅微加速度传感器结构的有限元仿真分析 | 第41-52页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·静力学分析 | 第41-47页 |
| ·有限元建模 | 第42-43页 |
| ·应力分析 | 第43-46页 |
| ·应变分析 | 第46-47页 |
| ·模态分析 | 第47-50页 |
| ·谐响应分析 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 孔缝悬臂梁压阻式硅微加速度传感器的制作工艺研究 | 第52-67页 |
| ·关键工艺研究 | 第52-56页 |
| ·压阻的形成 | 第52页 |
| ·KOH湿法腐蚀 | 第52-54页 |
| ·ICP刻蚀 | 第54-55页 |
| ·键合工艺 | 第55-56页 |
| ·工艺流程设计 | 第56-60页 |
| ·版图设计 | 第60-62页 |
| ·制作结果 | 第62-63页 |
| ·传感器的封装 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 5 孔缝悬臂梁压阻式硅微加速度传感器的标定和性能测试 | 第67-76页 |
| ·压阻参数测试 | 第67页 |
| ·加速度传感器的动态性能测试 | 第67-74页 |
| ·实验系统硬件配置 | 第67-69页 |
| ·传感器跟踪比对实验 | 第69-71页 |
| ·传感器线性度和灵敏度标定 | 第71-74页 |
| ·系统噪声实验 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 6 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·全文总结 | 第76页 |
| ·工作展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 作者简历 | 第83页 |
