| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·硅集成电路技术的发展与瓶颈 | 第10-12页 |
| ·SOI技术 | 第12-16页 |
| ·本文的研究内容及意义 | 第16-17页 |
| 第二章 传输线理论与实例 | 第17-30页 |
| ·微波传输线的种类及应用 | 第17-18页 |
| ·微波传输线特性参数分析 | 第18-21页 |
| ·双端口网络与S参数 | 第21-23页 |
| ·共平面波导理论 | 第23-26页 |
| ·不同结构和衬底的共平面波导 | 第26-30页 |
| 第三章 SOI衬底参数对传输损耗的影响研究 | 第30-44页 |
| ·共平面波导的设计与仿真 | 第30-35页 |
| ·SOI衬底上共平面波导制备流程 | 第35-37页 |
| ·共平面波导的高频在片测试 | 第37-39页 |
| ·SOI衬底参数对传输特性的影响分析 | 第39-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第四章 基于SOI的带通和带阻型共平面波导滤波器设计与实现 | 第44-53页 |
| ·32GHz双端耦合共平面波导带通滤波器的设计 | 第44-46页 |
| ·25GHz共平面波导带阻滤波器的设计 | 第46-48页 |
| ·滤波器的制备流程 | 第48-49页 |
| ·基于SOI的带通型共平面波导滤波器 | 第49-51页 |
| ·基于SOI的带阻型共平面波导滤波器 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第五章 基于SOI的MEMS共平面波导设计与实现 | 第53-65页 |
| ·基于SOI的低损耗MEMS共平面波导的设计 | 第53-55页 |
| ·基于SOI的MEMS共平面波导的制备 | 第55-57页 |
| ·基于SOI的MEMS共平面波导测试结果与分析 | 第57-60页 |
| ·不同介质层结构对传输特性的影响 | 第60-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| 第六章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 一、结论 | 第65-66页 |
| 二、展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 在读期间发表论文 | 第72页 |