| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-24页 |
| ·刀具技术与涂层技术的发展 | 第13-14页 |
| ·超硬材料刀具 | 第13页 |
| ·涂层技术与涂层刀具 | 第13-14页 |
| ·金刚石涂层技术与金刚石涂层刀具 | 第14-20页 |
| ·金刚石涂层技术的发展 | 第14-15页 |
| ·CVD 金刚石膜技术研究现状 | 第15-16页 |
| ·CVD 金刚石膜的制备方法 | 第16-17页 |
| ·金刚石涂层刀具 | 第17-18页 |
| ·金刚石涂层铣刀的研究现状 | 第18-20页 |
| ·国内外金刚石膜制备设备及其控制系统 | 第20-22页 |
| ·本文的研究意义和主要工作 | 第22-24页 |
| 第二章 控制系统的硬件与软件设计 | 第24-42页 |
| ·总体控制方案的确定 | 第24-26页 |
| ·小型化EACVD 设备的特性分析 | 第24-25页 |
| ·控制方案的选择 | 第25-26页 |
| ·控制系统硬件构成 | 第26-34页 |
| ·中央处理机 | 第26页 |
| ·传感器 | 第26-30页 |
| ·下位机 | 第30页 |
| ·控制卡 | 第30-31页 |
| ·电源 | 第31页 |
| ·控制柜 | 第31-34页 |
| ·控制软件结构设计 | 第34-37页 |
| ·温度控制方案 | 第34-35页 |
| ·气源控制方案 | 第35页 |
| ·真空系统控制方案 | 第35-36页 |
| ·偏压控制方案 | 第36页 |
| ·软件总体结构 | 第36-37页 |
| ·人机交互界面 | 第37-40页 |
| ·工艺文件编写界面 | 第38-39页 |
| ·实时调整界面 | 第39页 |
| ·数据图形显示 | 第39-40页 |
| ·控制系统使用效果 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 整体硬质合金铣刀上沉积金刚石涂层的流场仿真 | 第42-52页 |
| ·CFD 及其仿真软件介绍 | 第42-43页 |
| ·有限元模型 | 第43-44页 |
| ·流场仿真 | 第44-51页 |
| ·刀具安放方式对流场的影响 | 第44-46页 |
| ·进气口高度对流场的影响 | 第46-47页 |
| ·气体流量/流速对流场的影响 | 第47页 |
| ·批量制备时进气口分布对流场均匀性的影响 | 第47-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 整体硬质合金立铣刀上CVD 金刚石涂层的制备 | 第52-70页 |
| ·硬质合金立铣刀的预处理 | 第52-57页 |
| ·硬质合金立铣刀表面预处理的作用 | 第52-53页 |
| ·超声二步法表面预处理 | 第53-57页 |
| ·金刚石涂层沉积与检测方法 | 第57-59页 |
| ·工件的安装 | 第57-58页 |
| ·金刚石成核条件 | 第58页 |
| ·金刚石生长条件 | 第58页 |
| ·金刚石膜的检测方法 | 第58-59页 |
| ·实验结果与讨论 | 第59-68页 |
| ·金刚石涂层铣刀的宏观表现与总体质量 | 第59-61页 |
| ·碳源浓度对铣刀表面金刚石膜形貌的影响 | 第61-64页 |
| ·沉积时间对铣刀表面金刚石膜形貌的影响 | 第64-67页 |
| ·Raman 光谱分析 | 第67页 |
| ·小批量制备时涂层的一致性 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 CVD 金刚石涂层立铣刀切削实验研究 | 第70-82页 |
| ·金刚石涂层刀具在干式切削硅铝合金中的应用 | 第70-73页 |
| ·硅铝合金概况 | 第70页 |
| ·金刚石涂层刀具加工硅铝合金 | 第70-71页 |
| ·干式切削及其对刀具性能的要求 | 第71-73页 |
| ·铣削高硅铝合金时的刀具磨损实验 | 第73页 |
| ·结果与讨论 | 第73-81页 |
| ·涂层刀具的磨损 | 第73-78页 |
| ·涂层的破损与失效 | 第78-80页 |
| ·工件表面粗糙度 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第六章 总结与展望 | 第82-84页 |
| ·总结 | 第82-83页 |
| ·展望 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第90-91页 |
| 附录一 小型化EACVD 金刚石膜制备设备控制系统电路原理图 | 第91页 |
