| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 研究背景 | 第7-8页 |
| 1.2 常见的三维显微测量技术介绍 | 第8-11页 |
| 1.2.1 共聚焦显微术 | 第8-9页 |
| 1.2.2 白光干涉术 | 第9-10页 |
| 1.2.3 基于结构光的三维显微测量技术 | 第10-11页 |
| 1.3 基于结构光的三维显微测量技术在国内外的发展现状 | 第11页 |
| 1.4 本文的研究内容 | 第11-14页 |
| 2 基于结构光的三维测量原理 | 第14-39页 |
| 2.1 基于结构光的三维测量系统 | 第14-15页 |
| 2.2 相位提取算法 | 第15-20页 |
| 2.2.1 相移法 | 第15-17页 |
| 2.2.2 傅里叶变换法 | 第17-18页 |
| 2.2.3 基于背景归一化的傅里叶变换方法 | 第18-20页 |
| 2.3 相位展开算法 | 第20-37页 |
| 2.3.1 单周期法 | 第21-22页 |
| 2.3.2 外差法 | 第22-23页 |
| 2.3.3 数论法 | 第23-25页 |
| 2.3.4 基于投影距离最小化的相位展开方法 | 第25-28页 |
| 2.3.5 针对基于投影距离最小化的相位展开方法的最优波长选择策略 | 第28-35页 |
| 2.3.6 基于质量导向图的空域相位补偿方法 | 第35-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 3 基于结构光的实时三维显微测量系统结构介绍 | 第39-52页 |
| 3.1 基于结构光的实时三维显微测量系统的光学系统 | 第39-45页 |
| 3.1.1 体视显微镜的光路结构 | 第40-41页 |
| 3.1.2 投影模块 | 第41-43页 |
| 3.1.3 图像采集模块 | 第43-44页 |
| 3.1.4 光学系统的连接方式 | 第44-45页 |
| 3.2 基于结构光的实时三维显微测量系统的软件系统 | 第45-48页 |
| 3.3 针对基于结构光的实时三维显微测量系统的标定方法 | 第48-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 4 实验结果与分析 | 第52-56页 |
| 4.1 静态测量实验结果分析 | 第52-54页 |
| 4.1.1 对陶瓷量块搭成的台阶结构的测量结果 | 第52-53页 |
| 4.1.2 对BGA芯片的测量结果 | 第53-54页 |
| 4.2 动态测量实验结果分析 | 第54-55页 |
| 4.2.1 对振动耳机膜的测量结果 | 第54-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 工作总结 | 第56页 |
| 5.2 展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 附录 | 第62页 |
