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钛酸钡晶体薄膜波导的优化设计及加工技术的研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第一章 绪论第8-12页
    1.1 本论文研究的目的和意义第8页
    1.2 关于钛酸钡薄膜国内外发展现状第8-10页
        1.2.1 国内发展现状第8-9页
        1.2.2 国外发展现状第9-10页
        1.2.3 国内外研究现状对比分析第10页
    1.3 本论文各章节的安排第10-12页
第二章 光波导基础理论研究第12-17页
    2.1 矩形光波导基本结构与技术简介第12-13页
    2.2 矩形光波导的BPM理论第13-15页
        2.2.1 数值模拟方法第14-15页
    2.3 弯曲脊形波导中光损耗特性分析第15-16页
        2.3.1 弯曲波导的光损耗的一般性分析第15-16页
        2.3.2 弯曲波导的等效折射率第16页
    2.4 本章小结第16-17页
第三章 基于钛酸钡薄膜的两种脊形波导的比较研究第17-26页
    3.1 钛酸钡薄膜脊形波导的结构设计第17-24页
        3.1.1 钛酸钡薄膜/氮化硅条形成的脊形波导结构第17-21页
        3.1.2 全钛酸钡脊形波导结构第21-24页
    3.2 掩膜版的设计第24-25页
    3.3 本章小结第25-26页
第四章 基于钛酸钡薄膜两种脊形波导加工第26-36页
    4.1 钛酸钡晶体薄膜的沉积技术第26-29页
        4.1.1 脉冲激光沉积技术的优点第26-27页
        4.1.2 钛酸钡晶体薄膜生长工艺研究第27-28页
        4.1.3 氮化硅薄膜沉积工艺研究第28-29页
    4.2 脊形波导结构的制备工艺研究第29-35页
        4.2.1 掩膜版制作工艺研究第29-30页
        4.2.2 光刻工艺研究第30-33页
        4.2.3 刻蚀工艺研究与加工器件效果分析第33-35页
    4.3 本章小结第35-36页
第五章 钛酸钡薄膜波导的测试第36-41页
    5.1 两种波导的端面处理第36页
    5.2 光波导测试系统第36-37页
    5.3 光波导的测试方法及数据第37-39页
    5.4 波导损耗的来源分析第39-40页
    5.5 本章小结第40-41页
第六章 总结与展望第41-42页
    6.1 总结第41页
    6.2 展望第41-42页
参考文献第42-45页
致谢第45-46页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第46页

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