| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 抗反射结构的制备及性能研究进展 | 第9-16页 |
| 1.2.1 抗反射结构的制备方法 | 第10-12页 |
| 1.2.2 抗反射结构的分类及模板选择 | 第12-13页 |
| 1.2.3 周期性亚波长结构模板 | 第13-14页 |
| 1.2.4 随机亚波长结构模板 | 第14-15页 |
| 1.2.5 无掩模板刻蚀 | 第15-16页 |
| 1.3 亚波长结构的抗反射原理 | 第16-19页 |
| 1.4 亚波长结构的表面润湿性 | 第19页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 蓝宝石亚波长结构的制备及表征方法 | 第21-28页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 蓝宝石亚波长结构的电磁仿真 | 第21-22页 |
| 2.2.1 Comsol Multiphysics软件的简介 | 第21页 |
| 2.2.2 Comsol Multiphysics射频模块简介 | 第21-22页 |
| 2.3 亚波长结构的制备 | 第22-25页 |
| 2.3.1 实验设备及试剂 | 第22-23页 |
| 2.3.2 无皂乳液聚合法合成聚苯乙烯微球 | 第23页 |
| 2.3.3 周期性掩膜的制备 | 第23-25页 |
| 2.3.4 湿法刻蚀制备亚波长结构 | 第25页 |
| 2.4 溶液浸渍法制备仿生亚波长结构 | 第25-26页 |
| 2.5 抗反射结构的测试分析方法 | 第26-28页 |
| 第3章 蓝宝石表面亚波长结构的理论计算 | 第28-39页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 倒三角锥型亚波长结构电磁仿真过程 | 第28-31页 |
| 3.2.1 建立倒三角锥阵列仿真模型 | 第28-29页 |
| 3.2.2 材料及边界条件的设定 | 第29页 |
| 3.2.3 网格的剖分 | 第29-30页 |
| 3.2.4 计算与数据处理 | 第30-31页 |
| 3.3 蓝宝石表面倒三角锥阵列的光学仿真 | 第31-36页 |
| 3.3.1 仿真正确性的验证 | 第32-33页 |
| 3.3.2 占位比对倒三角锥阵列反射率的影响 | 第33-34页 |
| 3.3.3 深度对倒三角锥阵列反射率的影响 | 第34页 |
| 3.3.4 周期对倒三角锥阵列反射率的影响 | 第34-35页 |
| 3.3.5 结构参数对平均反射率的影响 | 第35-36页 |
| 3.4 仿生锥状亚波长结构的电磁仿真 | 第36-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 蓝宝石亚波长结构的制备及性能研究 | 第39-62页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 自组装合成周期性二氧化硅模板 | 第39-48页 |
| 4.2.1 无皂乳液聚合法合成单分散PS微球 | 第39-44页 |
| 4.2.2 PS微球Zeta电位表征 | 第44-48页 |
| 4.3 湿法刻蚀制备蓝宝石微纳结构 | 第48-56页 |
| 4.3.1 腐蚀温度对形貌的影响 | 第49-50页 |
| 4.3.2 腐蚀时间对形貌的影响 | 第50-51页 |
| 4.3.3 刻蚀时间对占位比的影响 | 第51-53页 |
| 4.3.4 不同刻蚀形貌形成的机理分析 | 第53-56页 |
| 4.4 仿生纳米锥亚波长结构的制备 | 第56-57页 |
| 4.5 亚波长结构的性能表征及AFM分析 | 第57-61页 |
| 4.5.1 亚波长结构的透过率表征 | 第57-58页 |
| 4.5.2 亚波长结构的AFM表征 | 第58-59页 |
| 4.5.3 亚波长结构的润湿性表征 | 第59-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 致谢 | 第69页 |