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基于简易模板的蓝宝石表面微纳结构的制备与性能研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第1章 绪论第9-21页
    1.1 课题研究的背景及意义第9页
    1.2 抗反射结构的制备及性能研究进展第9-16页
        1.2.1 抗反射结构的制备方法第10-12页
        1.2.2 抗反射结构的分类及模板选择第12-13页
        1.2.3 周期性亚波长结构模板第13-14页
        1.2.4 随机亚波长结构模板第14-15页
        1.2.5 无掩模板刻蚀第15-16页
    1.3 亚波长结构的抗反射原理第16-19页
    1.4 亚波长结构的表面润湿性第19页
    1.5 本文的主要研究内容第19-21页
第2章 蓝宝石亚波长结构的制备及表征方法第21-28页
    2.1 引言第21页
    2.2 蓝宝石亚波长结构的电磁仿真第21-22页
        2.2.1 Comsol Multiphysics软件的简介第21页
        2.2.2 Comsol Multiphysics射频模块简介第21-22页
    2.3 亚波长结构的制备第22-25页
        2.3.1 实验设备及试剂第22-23页
        2.3.2 无皂乳液聚合法合成聚苯乙烯微球第23页
        2.3.3 周期性掩膜的制备第23-25页
        2.3.4 湿法刻蚀制备亚波长结构第25页
    2.4 溶液浸渍法制备仿生亚波长结构第25-26页
    2.5 抗反射结构的测试分析方法第26-28页
第3章 蓝宝石表面亚波长结构的理论计算第28-39页
    3.1 引言第28页
    3.2 倒三角锥型亚波长结构电磁仿真过程第28-31页
        3.2.1 建立倒三角锥阵列仿真模型第28-29页
        3.2.2 材料及边界条件的设定第29页
        3.2.3 网格的剖分第29-30页
        3.2.4 计算与数据处理第30-31页
    3.3 蓝宝石表面倒三角锥阵列的光学仿真第31-36页
        3.3.1 仿真正确性的验证第32-33页
        3.3.2 占位比对倒三角锥阵列反射率的影响第33-34页
        3.3.3 深度对倒三角锥阵列反射率的影响第34页
        3.3.4 周期对倒三角锥阵列反射率的影响第34-35页
        3.3.5 结构参数对平均反射率的影响第35-36页
    3.4 仿生锥状亚波长结构的电磁仿真第36-38页
    3.5 本章小结第38-39页
第4章 蓝宝石亚波长结构的制备及性能研究第39-62页
    4.1 引言第39页
    4.2 自组装合成周期性二氧化硅模板第39-48页
        4.2.1 无皂乳液聚合法合成单分散PS微球第39-44页
        4.2.2 PS微球Zeta电位表征第44-48页
    4.3 湿法刻蚀制备蓝宝石微纳结构第48-56页
        4.3.1 腐蚀温度对形貌的影响第49-50页
        4.3.2 腐蚀时间对形貌的影响第50-51页
        4.3.3 刻蚀时间对占位比的影响第51-53页
        4.3.4 不同刻蚀形貌形成的机理分析第53-56页
    4.4 仿生纳米锥亚波长结构的制备第56-57页
    4.5 亚波长结构的性能表征及AFM分析第57-61页
        4.5.1 亚波长结构的透过率表征第57-58页
        4.5.2 亚波长结构的AFM表征第58-59页
        4.5.3 亚波长结构的润湿性表征第59-61页
    4.6 本章小结第61-62页
结论第62-63页
参考文献第63-69页
致谢第69页

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