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自卷曲管状半导体功能结构的研究

摘要第4-7页
ABSTRACT第7-9页
第一章 绪论第13-31页
    1.1 选题背景第13-15页
    1.2 自卷曲微米管及相关器件的研究现状第15-23页
    1.3 论文结构与安排第23-25页
    参考文献第25-31页
第二章 半导体自卷曲微米管外延生长、制备及表征设备第31-44页
    2.1 半导体自卷曲微米管外延材料生长设备第31-33页
    2.2 半导体自卷曲微米管工艺加工设备第33-37页
    2.3 半导体自卷曲微米管测试表征设备第37-42页
    2.4 本章小结第42-43页
    参考文献第43-44页
第三章 管壁嵌入InAs量子点的自卷曲微米管谐振腔的研究第44-66页
    3.1 量子点简介和微米管外延结构生长第44-46页
    3.2 管壁嵌入InAs量子点的自卷曲微米管谐振腔的制备第46-53页
    3.3 管壁嵌入InAs量子点的自卷曲微米管谐振腔的分析第53-55页
    3.4 管外边缘引入轴向限制的InAs量子点自卷曲微米管谐振腔的制备第55-59页
    3.5 管外边缘引入轴向限制的InAs量子点的自卷曲微米管谐振腔的分析第59-62页
    3.6 本章小结第62-63页
    参考文献第63-66页
第四章引入AlGaAs限制层的InAs量子点自卷曲微米管谐振腔的研究第66-81页
    4.1 外延结构设计第66-67页
    4.2 引入AlGaAs限制层的InAs量子点微米管的制备及结构特性第67-68页
    4.3 引入AlGaAs限制层的InAs量子点微米管转移前的光学特性分析第68-69页
    4.4 引入AlGaAs限制层的InAs量子点微米管转移后的谐振模式分析第69-71页
    4.5 引入AlGaAs限制层的InAs量子点微米管谐振腔谐振模式波长分析第71-73页
    4.6 基于两种外延结构的量子点自卷曲微米管谐振腔的对比与分析第73-74页
    4.7 引入AlGaAs限制层的InAs量子点自卷曲微米管谐振腔的温度稳定性第74-78页
    4.8 本章小结第78-79页
    参考文献第79-81页
第五章 基于InGaAs/GaAs自卷曲微米管的卷曲石墨烯研究第81-102页
    5.1 石墨烯简介及其制备第81-85页
    5.2 InGaAs/GaAs应变双层结构的生长第85-86页
    5.3 基于InGaAs/GaAs自卷曲微米管的卷曲CVD石墨烯的研究第86-95页
    5.4 基于自卷曲微米管的气体传感器设计第95-98页
    5.5 本章小结第98-99页
    参考文献第99-102页
第六章 总结与展望第102-105页
    6.1 总结第102-103页
    6.2 展望第103-105页
致谢第105-107页
攻读博士学位期间发表学术论文及参与项目情况第107-108页

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