热丝CVD法制备金刚石—碳化铬复合薄膜
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·金刚石薄膜的性能与应用 | 第10-14页 |
| ·金刚石薄膜的制备方法 | 第14-16页 |
| ·金刚石复合薄膜研究意义 | 第16-18页 |
| ·金刚石薄膜与基体粘附性问题 | 第16-17页 |
| ·提高金刚石薄膜与基体粘附性的方法 | 第17-18页 |
| ·本论文的研究思路、目标及内容 | 第18-20页 |
| 2 金刚石-碳化铬薄膜的制备原理 | 第20-23页 |
| ·化学气相沉积法制备金刚石薄膜的原理 | 第20-22页 |
| ·碳化铬的制备 | 第22页 |
| ·制备金刚石-碳化铬复合薄膜的可行性 | 第22-23页 |
| 3 实验 | 第23-39页 |
| ·热丝化学气相沉积装置 | 第23-26页 |
| ·真空系统 | 第23-25页 |
| ·配气系统 | 第25-26页 |
| ·水冷却系统 | 第26页 |
| ·电控系统 | 第26页 |
| ·实验工艺参数 | 第26-36页 |
| ·基体 | 第26页 |
| ·工作气压 | 第26-27页 |
| ·工作温度 | 第27-28页 |
| ·偏压 | 第28-29页 |
| ·钽丝的碳化 | 第29-30页 |
| ·铬源 | 第30-31页 |
| ·蒸铬装置 | 第31-32页 |
| ·薄膜的制备 | 第32-36页 |
| ·铬源的碳化 | 第36页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第36-39页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第36页 |
| ·背散射电子像(BEI) | 第36-37页 |
| ·电子能谱仪(EDS) | 第37页 |
| ·X射线衍射分析仪(XRD) | 第37页 |
| ·电子探针(EPMA) | 第37-39页 |
| 4 实验结果与分析 | 第39-73页 |
| ·钽丝的碳化 | 第39-41页 |
| ·钽丝的碳化长度 | 第39-40页 |
| ·物相分析 | 第40-41页 |
| ·蒸铬 | 第41-43页 |
| ·实验现象 | 第41-42页 |
| ·表面形貌与物相 | 第42-43页 |
| ·碳化铬薄膜 | 第43-47页 |
| ·实验现象 | 第43-44页 |
| ·表面形貌 | 第44-45页 |
| ·物相分析 | 第45-47页 |
| ·复合薄膜 | 第47-73页 |
| ·复合薄膜的前期实验摸索 | 第47-53页 |
| ·碳化铬的蒸发 | 第53-57页 |
| ·复合中间层 | 第57-73页 |
| 5 讨论 | 第73-80页 |
| ·蒸铬 | 第73-74页 |
| ·不同方式蒸铬 | 第73-74页 |
| ·铬的饱和蒸汽压 | 第74页 |
| ·铬的碳化物 | 第74-76页 |
| ·碳化铬薄膜 | 第74-76页 |
| ·碳化铬的蒸发 | 第76页 |
| ·复合薄膜 | 第76-80页 |
| ·低浓度甲烷蒸铬制备复合中间层薄膜 | 第77-78页 |
| ·无甲烷蒸铬制备复合中间层薄膜 | 第78-80页 |
| 结论 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-86页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-89页 |
