基于偏频锁定的激光合成波长干涉纳米位移测量技术研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第11页 |
| 1.2 激光干涉纳米位移测量技术国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 单频激光干涉仪 | 第12-13页 |
| 1.2.2 激光外差干涉仪 | 第13-14页 |
| 1.2.3 激光合成波长干涉仪 | 第14页 |
| 1.3 激光稳频方法国内外研究现状 | 第14-23页 |
| 1.3.1 绝对频率控制方法 | 第15-18页 |
| 1.3.2 相对频率控制方法 | 第18-23页 |
| 1.4 国内外研究现状总结 | 第23-24页 |
| 1.5 论文研究内容与组织结构 | 第24-26页 |
| 第2章 测量系统理论分析与方案设计 | 第26-34页 |
| 2.1 激光合成波长干涉纳米位移测量原理 | 第26-28页 |
| 2.2 位移测量不确定度分析与建模 | 第28-32页 |
| 2.3 系统总体方案设计 | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 激光偏频锁定方法研究 | 第34-45页 |
| 3.1 激光偏频锁定原理分析 | 第34-36页 |
| 3.2 调制边带研究 | 第36-39页 |
| 3.2.1 EOM驱动信号的设计 | 第37页 |
| 3.2.2 高阶边带的生成 | 第37-38页 |
| 3.2.3 EOM驱动信号的优化 | 第38-39页 |
| 3.3 光锁相环分析 | 第39-42页 |
| 3.3.1 锁相环基本部件 | 第39-41页 |
| 3.3.2 锁相环相位模型 | 第41页 |
| 3.3.3 捕获带 | 第41-42页 |
| 3.3.4 光锁相环的关键问题 | 第42页 |
| 3.4 激光偏频锁定方法实现 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 激光合成波长干涉信号处理方法研究 | 第45-59页 |
| 4.1 基于脉冲计数的过零相位检测方法分析 | 第45-47页 |
| 4.2 干涉信号处理方法 | 第47-52页 |
| 4.2.1 大数位移检测方法 | 第47-48页 |
| 4.2.2 小数位移检测方法 | 第48-51页 |
| 4.2.3 大小数位移整合方法 | 第51-52页 |
| 4.3 基于SoC的干涉信号处理实现 | 第52-53页 |
| 4.4 基于LabVIEW的软件系统研制 | 第53-54页 |
| 4.5 相位差算法测试 | 第54-58页 |
| 4.5.1 线性度测试 | 第54-55页 |
| 4.5.2 分辨率测试 | 第55-56页 |
| 4.5.3 信号直流漂移的影响 | 第56-57页 |
| 4.5.4 信号幅值变化的影响 | 第57-58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 实验及结果分析 | 第59-74页 |
| 5.1 激光频率稳定性测量实验及结果分析 | 第59-64页 |
| 5.2 合成波长稳定性测量实验及结果分析 | 第64-68页 |
| 5.3 位移测量实验及结果分析 | 第68-73页 |
| 5.3.1 纳米级位移测量实验 | 第69-70页 |
| 5.3.2 微米级位移测量实验 | 第70-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 第6章 总结与展望 | 第74-78页 |
| 6.1 总结 | 第74-76页 |
| 6.2 主要创新点 | 第76页 |
| 6.3 展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
