| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-26页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 作动器用锆钛酸铅（PZT）基压电陶瓷 | 第13-20页 |
| 1.2.1 压电效应及产生机理 | 第13-14页 |
| 1.2.2 压电材料的分类 | 第14-15页 |
| 1.2.3 PZT压电陶瓷 | 第15-17页 |
| 1.2.4 PZT的掺杂改性及多元系压电陶瓷 | 第17-18页 |
| 1.2.5 作动器用PZT基压电陶瓷的研究进展 | 第18-20页 |
| 1.3 多层压电陶瓷作动器概述 | 第20-23页 |
| 1.3.1 多层压电作动器的结构 | 第20-21页 |
| 1.3.2 多层压电作动器的制备方法 | 第21-23页 |
| 1.3.2.1 陶瓷片粘接方法 | 第21-22页 |
| 1.3.2.2 LTCC制备多层压电作动器 | 第22-23页 |
| 1.4 多层压电陶瓷的新型应用 | 第23-25页 |
| 1.4.1 基于多层压电陶瓷变压器的新型电源 | 第23-24页 |
| 1.4.2 相机调焦用压电作动器（压电微马达） | 第24-25页 |
| 1.5 本课题研究的意义、内容及工作安排 | 第25-26页 |
| 第二章 LTCC材料的选择、制备与性能测试 | 第26-35页 |
| 2.1 材料的选择 | 第26页 |
| 2.2 0.90PZT-0.05PMS-0.05PZN粉体和陶瓷的制备 | 第26-30页 |
| 2.2.1 原料的选择和配料 | 第27-28页 |
| 2.2.2 球磨混料 | 第28页 |
| 2.2.3 预烧 | 第28页 |
| 2.2.4 排胶和烧结 | 第28-29页 |
| 2.2.5 极化 | 第29-30页 |
| 2.3 压电陶瓷性能的测试 | 第30-34页 |
| 2.3.1 X射线衍射（XRD）物相分析 | 第30-31页 |
| 2.3.2 体积密度的测量 | 第31页 |
| 2.3.3 介电性能测试 | 第31-32页 |
| 2.3.4 压电应变常数d33、d31的测量 | 第32-33页 |
| 2.3.5 机电耦合系数的测量 | 第33页 |
| 2.3.6 机械品质因数的测量 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 低温共烧多层PZT-PMS-PZN压电陶瓷作动器 | 第35-48页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 样品的制备 | 第35-41页 |
| 3.2.1 流延成型制备陶瓷生片 | 第35-38页 |
| 3.2.1.1 流延浆料的配制 | 第36-37页 |
| 3.2.1.2 流延成型 | 第37-38页 |
| 3.2.2 丝网印刷内电极 | 第38-39页 |
| 3.2.3 叠片和热压 | 第39-40页 |
| 3.2.4 多层压电陶瓷的排胶与共烧 | 第40-41页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第41-46页 |
| 3.3.1 多层压电陶瓷相结构分析 | 第41页 |
| 3.3.2 多层压电陶瓷作动器显微形貌分析 | 第41-43页 |
| 3.3.3 频率特性分析 | 第43-44页 |
| 3.3.4 多层压电陶瓷作动器位移性能研究 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 粘接工艺制备压电陶瓷叠堆位移作动器及性能研究 | 第48-54页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 实验过程 | 第48-50页 |
| 4.2.1 材料准备 | 第48-49页 |
| 4.2.2 压电陶瓷叠堆结构优化 | 第49页 |
| 4.2.3 粘接工艺制备压电陶瓷叠堆样品 | 第49-50页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第50-53页 |
| 4.3.1 压电陶瓷叠堆自由状态位移性能研究 | 第50-52页 |
| 4.3.2 压电陶瓷叠堆推力性能研究 | 第52-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 基于触觉反馈应用的多层压电陶瓷振动马达的开发 | 第54-66页 |
| 5.1 引言 | 第54-55页 |
| 5.2 多层压电陶瓷振动马达的结构设计 | 第55-59页 |
| 5.2.1 压电振子及其振动模式 | 第55页 |
| 5.2.2 压电振动马达的基本结构 | 第55-56页 |
| 5.2.3 有限元模型的建立和分析 | 第56-58页 |
| 5.2.4 多层压电陶瓷振动马达的整体结构设计 | 第58-59页 |
| 5.3 多层压电陶瓷振动马达的制作 | 第59-62页 |
| 5.3.1 陶瓷材料的制备 | 第60-61页 |
| 5.3.2 器件的组装 | 第61-62页 |
| 5.4 多层压电陶瓷振动马达性能测试 | 第62-64页 |
| 5.4.1 振动强度的测试 | 第62-64页 |
| 5.4.2 频率特性的测试 | 第64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 本论文的工作总结 | 第66-67页 |
| 6.2 下一步的研究展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第75页 |
