移动通信用低损耗声表面波滤波器
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 论文目的 | 第10-14页 |
| 1.2 国内外研究的现状 | 第14-19页 |
| 1.2.1 国外研究的现状 | 第14-17页 |
| 1.2.2 国内研究的现状 | 第17-19页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容 | 第19页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第19-21页 |
| 第二章 低损耗滤波器设计方法以及优化 | 第21-43页 |
| 2.1 声表面波滤波器设计原理 | 第21-22页 |
| 2.2 低损耗滤波器设计现状 | 第22-23页 |
| 2.3 结构与基材选择 | 第23-25页 |
| 2.4 器件的仿真方案选择 | 第25-28页 |
| 2.5 器件设计 | 第28-37页 |
| 2.6 设计的优化 | 第37-38页 |
| 2.7 功率承受能力的提升 | 第38-43页 |
| 第三章 低损耗滤波器设计 | 第43-52页 |
| 3.1 低损耗声表面波滤波器设计原理 | 第43-44页 |
| 3.2 技术性能参数设计 | 第44-52页 |
| 第四章 低损耗高频声表面波器件关键制作工艺 | 第52-64页 |
| 4.1 声表面波滤波器基本工艺 | 第52-55页 |
| 4.2 工艺方案 | 第55-64页 |
| 4.2.1 工艺设计与工艺流程 | 第55-57页 |
| 4.2.2 本项目关键工艺和工艺难点分析 | 第57-59页 |
| 4.2.3 小尺寸器件的工艺实现 | 第59-61页 |
| 4.2.4 可靠性保证 | 第61-64页 |
| 第五章 研究及测试结果 | 第64-73页 |
| 5.1 试验结果 | 第64-69页 |
| 5.2 实验结果及分析 | 第69-71页 |
| 5.3 结论 | 第71-73页 |
| 第六章 总结 | 第73-75页 |
| 6.1 设计方面 | 第73页 |
| 6.2 工艺方面 | 第73页 |
| 6.3 研制方面 | 第73页 |
| 6.4 存在的问题以及下一步打算 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
