RF MEMS自由梁谐振器特性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究动态 | 第10-12页 |
| 1.3 论文主要工作 | 第12-14页 |
| 第二章 谐振器等效电路研究 | 第14-22页 |
| 2.1 MEMS谐振器等效机械模型 | 第14-17页 |
| 2.2 谐振器等效电路模型 | 第17-22页 |
| 第三章 谐振器Q值仿真分析 | 第22-43页 |
| 3.1 锚点损耗 | 第22-30页 |
| 3.2 空气阻尼损耗 | 第30-38页 |
| 3.2.1 气体雷诺方程 | 第31-33页 |
| 3.2.2 谐振器压膜阻尼 | 第33-36页 |
| 3.2.3 压膜阻尼损耗 | 第36-38页 |
| 3.3 热弹性阻尼 | 第38-41页 |
| 3.4 谐振器Q值 | 第41-43页 |
| 第四章 动态阻抗计算与仿真 | 第43-49页 |
| 4.1 动态阻抗计算 | 第43-44页 |
| 4.2 移动电极设计 | 第44-49页 |
| 第五章 谐振器的加工与测试 | 第49-67页 |
| 5.1 谐振器工艺流程 | 第49-57页 |
| 5.1.1 表面微加工工艺流程 | 第49-50页 |
| 5.1.2 掩膜版的设计 | 第50-54页 |
| 5.1.3 锚点工艺 | 第54-55页 |
| 5.1.4 加工结果 | 第55-57页 |
| 5.2 谐振器测试 | 第57-67页 |
| 5.2.1 结构完整度测试 | 第57-58页 |
| 5.2.2 谐振器电气性能测试 | 第58-67页 |
| 5.2.2.1 PCB测试板 | 第59-60页 |
| 5.2.2.2 键合线建模 | 第60-63页 |
| 5.2.2.3 测试结果 | 第63-67页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第67-68页 |
| 6.1 全文总结 | 第67页 |
| 6.2 工作展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第72-73页 |
