纳米时栅测量精度与电气误差的关系研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1.绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 本文的研究背景和意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 电容式位移传感器 | 第10-11页 |
| 1.2.2 光栅测量系统 | 第11-12页 |
| 1.2.3 激光干涉仪 | 第12-13页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第13-16页 |
| 2.时栅传感器原理 | 第16-22页 |
| 2.1 时空转换原理 | 第16页 |
| 2.2 时栅发展过程 | 第16-17页 |
| 2.3 纳米时栅传感原理 | 第17-19页 |
| 2.3.1 传感器结构 | 第17-18页 |
| 2.3.2 结构模型与分析 | 第18-19页 |
| 2.4 本章小结 | 第19-22页 |
| 3.纳米时栅电气误差分析 | 第22-34页 |
| 3.1 电气参数分析及模型建立 | 第22-24页 |
| 3.2 电气误差计算与分析 | 第24-26页 |
| 3.3 误差与测量精度的关系 | 第26-31页 |
| 3.4 电气参数仿真 | 第31-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 4.实验平台搭建 | 第34-46页 |
| 4.1 PI并联定位系统 | 第34-35页 |
| 4.2 激励信号系统LabVIEW | 第35-36页 |
| 4.3 系统硬件设计 | 第36-40页 |
| 4.3.1 FPGA数字处理电路 | 第39-40页 |
| 4.4 系统软件设计 | 第40-44页 |
| 4.4.1 快速傅立叶分析 | 第41-44页 |
| 4.5 本章小结 | 第44-46页 |
| 5.纳米时栅实验研究 | 第46-56页 |
| 5.1 传感器的制作 | 第46-47页 |
| 5.2 系统稳定性实验 | 第47-48页 |
| 5.3 传感器满量程量精度测试 | 第48页 |
| 5.4 传感器优化 | 第48-53页 |
| 5.4.1 调整间隙实验 | 第48-50页 |
| 5.4.2 电路结构优化 | 第50-52页 |
| 5.4.3 时间信号补偿空间信号 | 第52-53页 |
| 5.5 本章小结 | 第53-56页 |
| 6.总结与展望 | 第56-58页 |
| 6.1 总结 | 第56-57页 |
| 6.2 展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第62页 |
