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碳氮化法制备晶态SiCN的研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第1章 绪论第9-18页
    1.1 前言第9页
    1.2 SiCN的晶体结构第9-11页
    1.3 SiCN材料的制备方法第11-14页
        1.3.1 聚合物前驱体法第11-13页
        1.3.2 化学气相沉积法第13页
        1.3.3 物理气相沉积法第13-14页
        1.3.4 碳氮化法第14页
    1.4 SiCN材料的性能和应用第14-16页
        1.4.1 SiCN材料的物理化学性能第14-15页
        1.4.2 SiCN材料的导电性第15页
        1.4.3 SiCN材料的压阻效应第15页
        1.4.4 SiCN材料的光学性能第15-16页
    1.5 论文的研究内容第16-18页
第2章 实验过程及分析方法第18-22页
    2.1 原料与仪器第18页
    2.2 实验过程第18-19页
    2.3 表征方法第19-22页
第3章 原料种类和成型方式对合成SiCN的影响第22-34页
    3.1 合成产物的物相组成第22-24页
    3.2 合成产物的化学键组成第24-29页
    3.3 合成产物的显微结构第29-32页
    3.4 小结第32-34页
第4章 碳氮化温度对合成SiCN的影响第34-47页
    4.1 合成产物的物相组成第34-35页
    4.2 合成产物的化学键组成第35-39页
        4.2.1 XPS分析第35-38页
        4.2.2 FT-IR光谱分析第38-39页
    4.3 热稳定性和抗氧化性第39-41页
    4.4 合成产物的显微结构第41-46页
        4.4.1 SEM分析第41-43页
        4.4.2 TEM分析第43-46页
    4.5 小结第46-47页
第5章 原料配比对合成SiCN的影响第47-65页
    5.1 合成产物的物相组成第48-51页
    5.2 合成产物的化学键组成第51-57页
    5.3 显微结构第57-63页
        5.3.1 SEM分析第57-59页
        5.3.2 TEM分析第59-63页
    5.4 小结第63-65页
第6章 总结第65-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-75页
附录1攻读硕士学位期间发表的论文第75页

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