气体传感器阵列的制备及性能研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 气体传感器研究现状及发展前景 | 第10-13页 |
| 1.2.1 气体传感器简介 | 第10-11页 |
| 1.2.2 气体传感器研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.3 气体传感器发展前景 | 第12-13页 |
| 1.3 电子鼻研究现状及发展前景 | 第13-17页 |
| 1.3.1 电子鼻简介 | 第13-16页 |
| 1.3.2 电子鼻研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.3 电子鼻发展前景 | 第17页 |
| 1.4 论文的研究内容及意义 | 第17-19页 |
| 第二章 气敏材料及实验方法 | 第19-31页 |
| 2.1 气敏材料 | 第19-23页 |
| 2.1.1 气敏材料简介 | 第19-20页 |
| 2.1.2 高分子/无机纳米复合材料 | 第20-23页 |
| 2.2 传感器制备工艺 | 第23-29页 |
| 2.2.1 IC制造技术 | 第23-26页 |
| 2.2.2 MEMS制造技术 | 第26-29页 |
| 2.3 传感器测试系统 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 气体传感器基础结构的制备 | 第31-49页 |
| 3.1 引言 | 第31-32页 |
| 3.2 传感器的设计 | 第32-33页 |
| 3.3 传感器单元基础结构的制备 | 第33-44页 |
| 3.3.1 铝电极传感器基础结构的制备 | 第33-38页 |
| 3.3.2 金电极传感器基础结构的制备 | 第38-41页 |
| 3.3.3 不同传感器性能对比 | 第41-44页 |
| 3.4 传感器阵列基础结构的制备 | 第44-48页 |
| 3.4.1 阵列制备流程 | 第44-45页 |
| 3.4.2 工艺参数优化 | 第45-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 气体传感器气敏性能研究 | 第49-65页 |
| 4.1 传感器单元气敏性能研究 | 第49-55页 |
| 4.1.1 敏感薄膜的制备 | 第49-50页 |
| 4.1.2 气敏性能研究 | 第50-53页 |
| 4.1.3 气敏机理分析 | 第53-55页 |
| 4.2 传感器阵列气敏性能研究 | 第55-63页 |
| 4.2.1 敏感薄膜的制备 | 第55-56页 |
| 4.2.2 传感器阵列对甲醇的气敏特性测试 | 第56-58页 |
| 4.2.3 传感器阵列对甲苯的气敏特性测试 | 第58-59页 |
| 4.2.4 传感器阵列对NH_3的气敏特性测试 | 第59-61页 |
| 4.2.5 传感器阵列对CO的气敏特性测试 | 第61-62页 |
| 4.2.6 传感器阵列对NO_2的气敏特性测试 | 第62-63页 |
| 4.3 本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 结论和展望 | 第65-67页 |
| 5.1 结论 | 第65页 |
| 5.2 展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第73-74页 |
