| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题背景和研究目的及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2.1 运动控制器主要研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 运动控制器的实现方案研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3 课题的来源及主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 晶圆传输机器人控制系统总体设计 | 第16-23页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 晶圆传输机器人本体及控制系统功能需求分析 | 第16-18页 |
| 2.3 晶圆传输机器人控制系统方案设计 | 第18-22页 |
| 2.3.1 控制系统基本组成选型 | 第20-21页 |
| 2.3.2 晶圆传输机器人控制系统硬件方案 | 第21-22页 |
| 2.3.3 晶圆传输机器人控制系统软件方案 | 第22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 晶圆传输机器人控制系统硬件设计 | 第23-36页 |
| 3.1 引言 | 第23页 |
| 3.2 控制器功能模块设计 | 第23-32页 |
| 3.2.1 控制器整体系统结构 | 第23-24页 |
| 3.2.2 运动控制芯片最小系统电路设计 | 第24-26页 |
| 3.2.3 FPGA最小系统电路设计 | 第26页 |
| 3.2.4 PC104 总线电路设计 | 第26-27页 |
| 3.2.5 增量编码器接口电路设计 | 第27页 |
| 3.2.6 DAC接口电路设计 | 第27-29页 |
| 3.2.7 绝对编码器接口电路设计 | 第29-30页 |
| 3.2.8 电源供电电路设计 | 第30-32页 |
| 3.3 晶圆传输机器人控制器主板接口设计 | 第32页 |
| 3.4 电路板设计 | 第32-35页 |
| 3.4.1 电路板整体空间要求 | 第32-33页 |
| 3.4.2 运动控制器电路板PCB设计 | 第33-34页 |
| 3.4.3 控制器接口主板电路板PCB设计 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 晶圆传输机器人控制系统软件设计 | 第36-49页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 底层软件设计 | 第36-42页 |
| 4.2.1 控制器初始化配置 | 第36-37页 |
| 4.2.2 PC104 通讯模块 | 第37-39页 |
| 4.2.3 DAC输出模块 | 第39-40页 |
| 4.2.4 绝对信号接收模块 | 第40-42页 |
| 4.3 上位机调试软件设计 | 第42-48页 |
| 4.3.1 晶圆传输机器人工位分析、路径与轨迹规划 | 第42-46页 |
| 4.3.2 晶圆传输机器人上位机调试软件 | 第46-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 实验与验证 | 第49-59页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 控制器实验系统建立 | 第49-51页 |
| 5.3 各个模块实验 | 第51-53页 |
| 5.3.1 串口通讯模块测试实验 | 第51页 |
| 5.3.2 PC104 通讯模块测试实验 | 第51-52页 |
| 5.3.3 DAC输出测试实验 | 第52-53页 |
| 5.3.4 反馈信号测试实验 | 第53页 |
| 5.4 控制系统实验 | 第53-57页 |
| 5.4.1 单轴运动控制实验 | 第53-56页 |
| 5.4.2 两轴插补运动实验 | 第56-57页 |
| 5.4.3 晶圆传输控制实验 | 第57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64页 |