FBAR制备及应用研究

致谢	第4-6页
摘要	第6-8页
Abstract	第8-9页
縮略词表	第10-12页
目录	第12-14页
1 绪论	第14-28页
1.1 基本声波理论	第14-15页
1.2 压电效应与压电方程	第15-18页
1.3 FBAR概述	第18-22页
1.4 FBAR研究概况	第22-25页
1.5 论文研究内容与章节安排	第25-28页
2 FBAR制备工艺研究	第28-54页
2.1 FBAR制备工艺分析	第28-34页
2.2 体硅背刻蚀型FBAR制备	第34-39页
2.3 采用DRIE干法刻蚀制备背刻蚀型FBAR	第39-49页
2.4 FBAR集成工艺研究	第49-51页
2.5 本章小结	第51-54页
3 FBAR紫外探测及电调FBAR研究	第54-76页
3.1 FBAR模型及仿真研究	第54-59页
3.2 FBAR紫外光测试及结果分析	第59-69页
3.3 直流电调FBAR及其测试与预测	第69-75页
3.4 本章小结	第75-76页
4 总结与展望	第76-78页
4.1 论文的主要内容	第76-77页
4.2 论文的不足之处	第77-78页
参考文献	第78-84页
作者简历及在学期间的科研成果	第84页